PECVD等離子沉積設(shè)備DEPOLAB 200
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/10 9:12:09
- 訪問次數(shù) 198
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顯微鏡,,激光共聚焦,,電鏡,x射線,,激光捕獲顯微切割,,熒光成像系統(tǒng),DNA/RNA合成儀,,半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備,,生命科學(xué)儀器,光刻機(jī),,
價格區(qū)間 | 10萬-50萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥 |
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低成本效益高
PECVD等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備Depolab 200將平行板等離子體源設(shè)計與直接載片相結(jié)合,。
升級擴(kuò)展性
根據(jù)其模塊化設(shè)計,PECVD等離子沉積設(shè)備DEPOLAB 200可升級為更大的真空泵組,,低頻射頻源和更多的氣路,。
SENTECH控制軟件
PECVD等離子沉積設(shè)備DEPOLAB 200強(qiáng)大的用戶友好軟件包括模擬圖形用戶界面,參數(shù)窗口,,工藝處方編輯窗口,,數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。
Depolab 200是SENTECH基本的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備,,它結(jié)合了用于均勻薄膜沉積的平行板電極設(shè)計和直接載片的成本效益設(shè)計的優(yōu)點(diǎn),。從2″至8″晶片和樣品的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用開始,可以逐步升級以完成復(fù)雜的工藝,。
PECVD Depolab 200的顯著特點(diǎn)是系統(tǒng)的可靠設(shè)計,,軟件和硬件的靈活性。在該設(shè)備上開發(fā)了不同的工藝,,例如用于高質(zhì)量氮化硅和氧化硅層的沉積,。PECVD Depolab 200包括帶氣路柜的反應(yīng)腔體,電子控制,,計算機(jī),、前級泵和配電箱。
Depolab 200 等離子增強(qiáng)沉積設(shè)備用于在從室溫到400℃的溫度范圍內(nèi)沉積SiO2,、SiNx、SiONx和a-Si薄膜,。PECVD Depolab 200特別適用于沉積用于刻蝕掩膜,,電隔離膜及其他的介質(zhì)膜。
PECVD Depolab 200由SENTECH的控制軟件操作,,使用遠(yuǎn)程現(xiàn)場總線技術(shù)和用戶友好的通用用戶界面,。