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帶預(yù)真空室的化學(xué)氣相沉積設(shè)備SI 500 PPD

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北京瑞科中儀科技有限公司一家是專門從事數(shù)碼光學(xué)顯微鏡及相關(guān)實驗室設(shè)備研發(fā)與銷售的新型高科技公司,也專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,,為高校,、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的材料分析解決方案,北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡,、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),、離子束刻蝕機、等離子清洗機,、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實驗室設(shè)備儀器,,以專業(yè)能力導(dǎo)向,精細(xì)工藝流程,,用科學(xué)手段解決科研中遇到的難題.彼此協(xié)作,,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

公司主要產(chǎn)品包括:生物顯微鏡,、金相顯微鏡,、偏光顯微鏡、體視顯微鏡,、數(shù)碼顯微鏡,、顯微鏡數(shù)碼相機照相接口、顯微鏡*冷光源,、數(shù)碼圖像分析系統(tǒng),、測量顯微鏡、三座標(biāo)測量顯微鏡,,激光細(xì)胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/光學(xué)顯微鏡/熒光顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導(dǎo)體設(shè)備生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/PCR儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/基因測序儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/DNA合成儀半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機/直寫光刻機

公司經(jīng)銷代理品牌包括:蔡司顯微鏡,,奧林巴斯顯微鏡,尼康顯微鏡,,徠卡顯微鏡,,國產(chǎn)各廠家顯微鏡, 華粵行 ,,基恩士 ,, 日本電,日立 ,,布魯克,,三和聯(lián), sentech(森泰克),,SYSKEY(矽碁),, PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品 ,天美愛丁堡,,原子光譜,,氣相色譜,PE(鉑金埃爾默)全系產(chǎn)品

代理經(jīng)銷的產(chǎn)品種類包括,,熒光顯微鏡,,熒光顯微成像系統(tǒng),,激光捕獲顯微切割,全自動切片掃描,,三維超景深顯微系統(tǒng),動物超聲系統(tǒng),,3D超景深顯微鏡,,形貌探測顯微鏡,蔡司共聚焦顯微鏡,,全自動數(shù)字切片掃描,,病理切片掃描,激光切割顯微系統(tǒng),,立體顯微鏡,,國產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡,精準(zhǔn)醫(yī)學(xué)顯微切割,,激光顯微切割系統(tǒng),,按需搭建顯微系統(tǒng),熒光光譜儀,,激光細(xì)胞顯微操作 拉曼顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/光學(xué)顯微鏡/熒光顯微鏡光學(xué)儀器及設(shè)備/電子顯微鏡/其它電子顯微鏡半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備其它半導(dǎo)體設(shè)備生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/PCR儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/基因測序儀生命科學(xué)儀器/分子生物學(xué)儀器/DNA合成儀半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/薄膜生長設(shè)備/其它薄膜沉積設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器/光刻及涂膠顯影設(shè)備/無掩模光刻機/直寫光刻機


公司成立伊始,,即本著“以人為本,誠信發(fā)展,,合作共贏"的企業(yè)宗旨,,快樂中結(jié)識新朋友,穩(wěn)步中追求新發(fā)展,。目前公司已經(jīng)擁有一支由專業(yè)技術(shù)人員,、營銷人員和維修人員組成的強大隊伍,竭誠為廣大客戶提供包括技術(shù)咨詢,、產(chǎn)品配套,、安裝調(diào)試、應(yīng)用指導(dǎo),、維護保養(yǎng)在內(nèi)的整套細(xì)致入微的服務(wù),。同時公司還依托中國地質(zhì)研究院、清華大學(xué),、中國農(nóng)業(yè)大學(xué),、中科院等科研院所的強大技術(shù)實力,特聘多名教授,、博士作為我公司提供多方面的技術(shù)支持,。

公司儲備各顯微鏡現(xiàn)貨,只要您有需求,,我們就能隨時為您提供各種產(chǎn)品選配服務(wù),。公司管理層、營銷隊伍和技術(shù)人員都具備多年的專業(yè)技術(shù)經(jīng)驗,相信我們的質(zhì)量和服務(wù)一定是顯微光學(xué)領(lǐng)域中無法可比的,。

北京瑞科中儀科技有限公司秉承“專業(yè)的人員,,過硬的技術(shù),優(yōu)秀的產(chǎn)品"精神,,為您提供專業(yè),、及時、周到的技術(shù)服務(wù),,北京瑞科中儀科技有限公司必將成為您值得信賴的伙伴!












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價格區(qū)間 100萬-200萬 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥,綜合

工藝靈活性

PECVD沉積設(shè)備SI 500 PPD便于在從室溫到350℃的溫度范圍內(nèi)進行SiO2、SiNx,、SiOxNy和a-Si的標(biāo)準(zhǔn)的化學(xué)氣相沉積工藝,。

預(yù)真空室

帶預(yù)真空室的化學(xué)氣相沉積設(shè)備SI 500 PPD帶預(yù)真空室的化學(xué)氣相沉積設(shè)備SI 500 PPD的特色是預(yù)真空室和干泵裝置,用于無油,、高產(chǎn)量和潔凈的化學(xué)氣相沉積過程,。

SENTECH控制軟件

強大的用戶界面友好軟件包括模擬圖形用戶界面,參數(shù)窗口,,工藝處方編輯窗口,,數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。


SI 500 PPD代表了的等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備,,用于介質(zhì)膜,、非晶硅、碳化硅和其他材料的沉積,。它基于平板電容耦合等離子體源,,預(yù)真空室,溫控襯底電極,,可選的低頻射頻源,、全自動控制的無油真空系統(tǒng)、的SENTECH控制軟件,,采用遠(yuǎn)程現(xiàn)場總線技術(shù),,以及用戶友好的通用界面來操作SI 500 PPD,。

SI 500 PPD等離子沉積設(shè)備,可以加工從到200毫米直徑的晶片到裝載在載片器上的零件,。單晶片預(yù)真空室保證穩(wěn)定的工藝條件,,并實現(xiàn)簡易切換的過程。

SI 500 PPD等離子增強沉積設(shè)備用于在從室溫到350℃的溫度范圍內(nèi)沉積SiO2,、SiNx,、SiONx和a-Si薄膜。通過液態(tài)或氣態(tài)前驅(qū)體,,SI 500 PPD可以為TEOS, SiC和其它材料的沉積提供解決方案。SI 500 PPD特別適用于化學(xué)氣相沉積用于刻蝕掩膜,,鈍化膜,,波導(dǎo)及其他的介質(zhì)膜和非晶硅。

SENTECH提供不同級別的自動化程度,,從真空片盒載片到一個工藝腔室或多六個工藝模塊端口,,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng),目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量,。SI 500 PPD也可用作多腔沉積系統(tǒng)中的一個工藝模塊,。


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  • SI 500 PPD


  • 等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備

  • 帶預(yù)真空室

  • 適用于大到200mm的晶片

  • 襯底溫度從室溫到350?°C

  • 可選低頻射頻降低應(yīng)力

  • 用于沉積TEOS的液態(tài)前驅(qū)體

  • 干泵組




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