一、市場背景

【光伏電池行業(yè)】三氯氫硅（TCS）又稱三氯硅烷,、硅氯仿,，是鹵硅烷系列化合物中最重要的一種產品，沸點為31.8℃,、極易水解,、冒白煙、有鹽酸氣味,、有毒,，三氯氫硅氣體與氧氣或空氣的混合物極易燃燒，遇濕易燃物品,，遇明火強烈燃燒,，與氧化劑發(fā)生反應，有燃燒危險。極易揮發(fā),，在空氣中發(fā)煙,，遇水或水蒸氣能產生熱和有毒的腐蝕性煙霧。

電子級TCS：電子級TCS是純度高的三氯氫硅,，通常用于制造高效率的光伏電池,。它的雜質含量非常低，可以提供良好的電子傳輸性能,；太陽級TCS：太陽級TCS也是用于制造光伏電池的材料,，但其純度要低于電子級TCS。太陽級TCS可以通過化學氣相沉積（CVD）等工藝生產,，用于大規(guī)模制造光伏電池,；工業(yè)級TCS：工業(yè)級TCS是用于其他工業(yè)應用的TCS，不一定具備高純度要求,。工業(yè)級TCS通常用于制造硅橡膠,、硅密封材料等。

二,、市場現(xiàn)狀

樣品氮封后放進自動液體進樣器樣品盤上,，進樣針在抽取樣品時由于針內含有空氣，進樣針內的樣品易發(fā)生自燃,，破壞樣品,，分析結果不準確。

三,、解決方案：

產品名稱：色譜氣體保護儀

產品型號： P-5

惰性氣體：小分子量惰性氣體,，優(yōu)選氦氣

四,、原理：

1,、設計一個樣品空氣隔離罩將自動液體進樣器籠罩于其內，開口在底部,，從上端往隔離罩內連續(xù)輸入氦氣,，置換掉隔離罩內的空氣，氦氣密度小,，氦氣優(yōu)先充滿頂部空間,，可以驅趕空氣從底部排出，隔離罩內充滿氦氣,，樣品和進樣針內外周圍環(huán)境中的氧氣濃度低于安全值后,，確保了樣品不會自燃；

2,、氦氣經過流量控制系統(tǒng)進入隔離罩內,，先選擇充氣通道，氦氣大流量進入隔離罩內，當空氣全部被置換掉后,，再切換到補氣通道,，維持小流量氦氣，流量可調,；

3,、隔離罩底部樣品位置安裝高精度測氧儀，實時監(jiān)控隔離罩內的氧氣濃度,，低于安全值時再進樣,；

4、流量控制器中氦氣開關閥可以通過色譜軟件控制,，運行完樣品,，自動關閉氦氣，節(jié)省氦氣,。

五,、方案優(yōu)勢：

1、雙通道自由切換,，充氣通道,，流量大，置換快,，1min即可完成置換,，補氣通道，流量小,，節(jié)省氣,；

2、通過色譜儀控制氦氣氣源的電磁閥開關,，進完樣品可以自動關閉,，運行下一個樣品前自動打開氦氣，節(jié)省氦氣,；

3,、看得見的氧氣，氧氣濃度可以實時顯示,，低于安全值時再進樣,，確保不會自燃；

4,、配備高精密度測氧儀,，帶存儲卡，歷史數(shù)據(jù)可以追蹤,；

5,、采用扁平化設計,，桌面占用少。

擴展：該方案同樣適用于 雙（二乙基氨基）硅烷(BDEAS) 的色譜分析