SMART 蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 沈陽科儀
- 型號 SMART
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/5 16:10:16
- 訪問次數(shù) 214
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1.產(chǎn)品概述:
該設備主要由有機/金屬源蒸發(fā)沉積室,、真空排氣系統(tǒng);真空測量系統(tǒng),;蒸發(fā)源,;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成,。
2.設備用途:
熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),,通過對鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程??稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜,,廣泛應用于物理,生物,,化學,,材料,電子等域,。蒸鍍薄膜種類:Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有機物等
3.產(chǎn)品配置:
真空室結構:六邊形側(cè)開門
真空室尺寸:φ350×370mm
限真空度:≤6.6E-4Pa
沉積源:1個鎢舟,、2個有機源
樣品尺寸,溫度:大可放置4片20mmx25mm的基片,,基片不加熱,,可自轉(zhuǎn),速度5~20轉(zhuǎn)/分,;
占地面積(長x寬x高):約1米x1米x1.9米
電控描述:手動
樣品臺:可放置基片,,并可能具有旋轉(zhuǎn)、加熱等功能,,以滿足不同的工藝需求,。例如,加熱功能可以使樣品達到一定溫度,適應某些材料的沉積要求,;旋轉(zhuǎn)功能有助于提高薄膜的均勻性,。
控制系統(tǒng):采用先進的控制系統(tǒng),方便用戶設置和調(diào)整工藝參數(shù),,如蒸發(fā)速率,、沉積時間等。
多種材料沉積能力:可以沉積多種不同的薄膜材料,,以滿足不同的應用需求,。
良好的穩(wěn)定性和可靠性:確保系統(tǒng)能夠長時間穩(wěn)定運行,保證薄膜沉積的重復性和一致性,。
可視化操作界面:可能具有直觀的操作界面,,方便用戶進行操作和監(jiān)控。
不同型號的 SMART 蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)在具體參數(shù)和功能上可能會存在差異,,例如真空度的高低,、蒸發(fā)源的類型和功率、樣品臺的尺寸和可調(diào)節(jié)范圍,、膜厚監(jiān)測的精度等,。