日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備 FAN-090/FAN-170/FAN-200 特點(diǎn)介紹

半導(dǎo)體制造設(shè)備（用于前端工藝）需要應(yīng)對更小的設(shè)計(jì)規(guī)則和更大的晶圓直徑（300mmφ或更大）,。為此,，構(gòu)成設(shè)備的部件材料的選擇極其重要。

氮化鋁（AlN）是一種平衡良好的材料,，具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性,、熱輻射（散熱）、抗熱震性和電絕緣性,，并且具有與硅晶片相匹配的熱膨脹性,。

利用古河電子的燒成技術(shù)，我們還能夠制造550mmφ氮化鋁陶瓷部件,。我們還將應(yīng)對更大直徑的晶圓,。

具有高導(dǎo)熱率和熱發(fā)射率，受熱均勻性高,。

它具有抗熱沖擊能力,，可以承受快速加熱和冷卻。

與硅相匹配的低熱膨脹,。

對氟氣具有優(yōu)異的耐腐蝕性,。

日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備 FAN-090/FAN-170/FAN-200 規(guī)格參數(shù)

半導(dǎo)體制造裝置（CVD、蝕刻等）用各種基座,、靜電吸盤,、均熱板、真空吸盤,、加熱器

虛擬晶圓

目標(biāo)

化合物半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件

?熱伝導(dǎo)?熱放射率が大きく,、均熱性が高い。?熱衝撃に強(qiáng)く,、急熱?急冷に耐える,。?Si にマッチした低熱膨張で,、溫度変化によるウェーハの変形を防ぎ、また,、デポ膜の剝離によるパーティクル発生を低減する,。?フッ素系ガス耐食性に優(yōu)れる。