化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制冷設(shè)備>其它制冷設(shè)備> SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣,綜合 |
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SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
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SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器,、循環(huán)泵,、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備,。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),,并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性,、控制精度和響應(yīng)速度,。
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機(jī)械拋光),, 實(shí)驗(yàn)室精密裝置,、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備,、固態(tài)激光器,、模具溫控等。
變頻控制,,智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制,,高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制
應(yīng)用領(lǐng)域
激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備,、焊接設(shè)備,、高分析儀、LCD制造設(shè)備,、模具溫調(diào),、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線(數(shù)字式)設(shè)備等
溫度范圍:-20°C~+90°C
控溫精度:±0.1℃
觸摸屏操作,,人機(jī)交互界面
連鎖控制,、可靠性高
定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低,、停電復(fù)位,、防凍功能
溫度波動(dòng)小
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