二手日立+日本電子掃描電鏡主要特長

優(yōu)秀電子光學(xué)系統(tǒng)                                                           

JSM-IT200A是株式會社最新升級版機(jī)型,，集合了分析掃描電鏡精髓功能,，結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)省空間,，分辨率高,。

操作舒適快捷                                                                  

JSM-IT200A擁有非常直觀的操作系統(tǒng)，即使沒有經(jīng)驗的用戶也可進(jìn)行操作高品質(zhì)的SEM圖像,，以及高效率元素分析,。可支持操作觸摸屏,。

安裝的靈活性                                                                           

節(jié)省空間,，安裝方便。一個電源插座就足以安裝,。不需要任何冷卻水,。

二手日立+日本電子掃描電鏡中用來產(chǎn)生圖像的信號源于電子束與樣品中不同深度的原子相互作用。因此而產(chǎn)生各種類型的信號包括二次電子(Secondary electron, SE),、反射或背散射電子(Back-scattered electron, BSE),、特征X射線和光線(陰極射線發(fā)光)(CL)、吸收電流(樣品電流)和透射電子,。 二次電子探測器是所有掃描電鏡的標(biāo)配,。

在二次電子成像(Secondary electron imaging, SEI)中，二次電子是從樣品表層發(fā)射的,。因此,，SEI可以產(chǎn)生超高分辨率的樣品表面圖像并顯示尺寸小于1納米的細(xì)節(jié)。背散射電子(BSE)是通過彈性散射從樣品反射的成束電子,。它們的發(fā)射位置在樣品更深處,，因此BSE圖像的分辨率低于SE。然而,，BSE與從特征性X射線獲得的光譜通常用于分析型SEM,，因為BSE信號的強(qiáng)度與樣品的原子序數(shù)(Z)密切相關(guān)。BSE圖像可以提供樣本中不同元素的分布信息，但不能提供結(jié)構(gòu)信息,。 在主要由輕元素組成的樣本中,，例如生物樣本，BSE成像可以對直徑為5-10 nm的膠態(tài)金免疫標(biāo)記成像,，而這很難或不可能利用二次電子成像檢測到,。 當(dāng)電子束從樣品中激發(fā)出內(nèi)殼層電子時，樣品會發(fā)射出特征X射線,，這是因為高能電子充滿殼層并釋放能量,。這些特征X射線的能量或波長可以通過能譜儀Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDX）或波譜儀（Wavelength-dispersive X-ray spectroscopy）測量，并可用于識別和測量樣品中的元素豐度進(jìn)而繪制元素分布圖,。

由于樣品臺的限制,，SEM樣品必須足夠小，同時可能需要特殊的預(yù)處理來增加樣品的電導(dǎo)率和穩(wěn)定性,，以便樣品能夠承受高真空條件和高能電子束的轟擊,。通常使用導(dǎo)電膠將樣品牢固地安裝在樣品臺或短柱上。SEM被廣泛用于半導(dǎo)體晶片的缺陷分析,，制造商制造出可以檢查尺寸為300 mm的半導(dǎo)體晶片的任何部位的儀器,。許多儀器都有著可以將該尺寸的物體傾斜45°并提供連續(xù)360°旋轉(zhuǎn)的腔室。