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HR600 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 干式真空泵 蝕刻裝置用
參考價(jià) | ¥ 8452 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 愛(ài)安德商貿(mào)(深圳)有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
- 型號(hào) HR600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/7/2 10:59:13
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 286
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光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)儀器,、科學(xué)儀器,、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備,、PC周邊用品,、作業(yè)工具用品、物流保管用品,、化學(xué)用品,、FA自動(dòng)化
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1千-2千 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 干式真空泵 蝕刻裝置用
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 干式真空泵 蝕刻裝置用
特點(diǎn)
高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出,。
UR系列可比HR系列更加高溫化,。氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全,。瞬停對(duì)策
采取了1000msec以?xún)?nèi)瞬停對(duì)策,。出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理,。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕,。通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷,。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控,。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD,、ALH 等
規(guī)格
型號(hào) | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
機(jī)械增壓泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
最大 排氣速度 | 50Hz | m3/h (L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
60Hz | m3/h (L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
到達(dá)壓力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | 大氣壓 *1 | |||||||||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | Pa | 1~ 大氣壓 | ||||||||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
排氣口 | KF40 | |||||||||||
質(zhì)量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
電源 | 三相 | VAC (Hz) | 200(50/60), 220(60) | |||||||||
電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | A | 7.1 (at 200V) | 11.2 (at 200V) | 7.8 (at 200V) | 12.9 (at 200V) | 15.4 (at 200V) | |||||
最大值 | A | 7.3 (at 200V) | 11.8 (at 200V) | 8.1 (at 200V) | 13.8 (at 200V) | 18.9 (at 200V) | ||||||
冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
冷卻水出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
吹掃氣 | 一次壓力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
二次壓力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
N2吹掃 | 軸 | SLM | 5 | |||||||||
氣鎮(zhèn) | SLM | 0~45 |
*1 HR300、HR600,、HR1200請(qǐng)勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),。
ULVAC 廠商介紹:
1952 年 ULVAC 成立時(shí),它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)投資公司,,他們希望“通過(guò)真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)”,。
自成立以來(lái),ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,,包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件,,以及汽車(chē),、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,,ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價(jià)值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價(jià)值
ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán),,為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),,包括真空設(shè)備、真空設(shè)備,、材料,、分析設(shè)備和客戶(hù)解決方案。
在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi),,零部件業(yè)務(wù)部門(mén)是一組負(fù)責(zé)開(kāi)發(fā),、制造和銷(xiāo)售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的,。
通過(guò)與客戶(hù)的溝通,,共創(chuàng)繁榮的未來(lái)
ULVAC還希望通過(guò)與客戶(hù)的溝通來(lái)支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。
盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時(shí)規(guī)模更大,,但其冒險(xiǎn)精神始終沒(méi)有改變,。
ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,,為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn),。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會(huì)社 零部件事業(yè)部
愛(ài)發(fā)科機(jī)工株式會(huì)社
愛(ài)發(fā)科低溫有限公司
愛(ài)發(fā)科(寧波)有限公司
韓國(guó)愛(ài)發(fā)科低溫公司
愛(ài)發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司
愛(ài)發(fā)科銷(xiāo)售有限公司
愛(ài)發(fā)科科技有限公司
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