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UR600 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 耐腐蝕

參考價(jià) ￥ 9115
訂貨量 ≥1件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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公司擁有一批專業(yè)的銷售技術(shù)人員,，可為您提供售前售后服務(wù)，解決您在選型中所遇到的問(wèn)題,。



愛(ài)安德商貿(mào)（深圳）有限公司將致力于與客戶建立長(zhǎng)久的合作關(guān)系,，創(chuàng)新發(fā)展,精誠(chéng)合作，攜手共進(jìn),。

我們堅(jiān)信：開(kāi)拓,、創(chuàng)新、求實(shí),、奉獻(xiàn),企業(yè)的成功來(lái)源于高品質(zhì)的產(chǎn)品和客戶的信賴,。我公司以為顧客提供優(yōu)質(zhì)、

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公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)營(yíng)：溫濕度計(jì),、電子分析天平,、精密電子天平、便攜式桌面秤,、密度天平,、移液校準(zhǔn)天平、水份測(cè)定儀,、粘度計(jì),、振動(dòng)式流變儀  、

防水防塵臺(tái)秤,、防水防塵桌面秤,、稱重傳感器、稱重控制顯示器,、可編程測(cè)量控制器,、超聲波測(cè)厚儀等。我們提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),，

以快速響應(yīng)國(guó)際上對(duì)創(chuàng)新和高精度測(cè)量工具的需求,，與此同時(shí)建立了良好的市場(chǎng)聲譽(yù)。我們的宗旨是實(shí)現(xiàn)最高的客戶滿意度,。






光學(xué)設(shè)備,、電子計(jì)測(cè)儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備,、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備,、PC周邊用品、作業(yè)工具用品,、物流保管用品,、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 1千-2千
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 耐腐蝕

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 耐腐蝕



通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實(shí)現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點(diǎn)

  • 高溫區(qū)域均熱化
    實(shí)現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出,。
    UR系列可比HR系列更加高溫化。

  • 氦氣密封
    通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),，非常安全,。

  • 瞬停對(duì)策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高,、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕,。

  • 通信功能
    可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù),、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控,。

用途

  • CVD裝置

  • 蝕刻裝置

  • 灰化裝置

  • ALD、ALH 等

規(guī)格

型號(hào)UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機(jī)械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度		50Hz410 m3/h
(6833 L/min)		653 m3/h
(10883 L/min)		1012 m3/h
(16867 L/min)		1701 m3/h
(28350 L/min)		2700 m3/h
(45000 L/min)
到達(dá)壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa
N2吹掃軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1:請(qǐng)勿在UR600,、UR1200,、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進(jìn)行連續(xù)運(yùn)
*　沒(méi)有登載規(guī)格一覽表上的UR系列請(qǐng)另行確認(rèn)




■運(yùn)轉(zhuǎn)方式

干式真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)方式123
N2 流量SLM055~50*1








ULVAC 廠商介紹：

1952 年 ULVAC 成立時(shí),，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)投資公司,，他們希望“通過(guò)真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)”。

自成立以來(lái),，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器,、半導(dǎo)體和電子元件,，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,，ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價(jià)值的挑戰(zhàn),。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價(jià)值

ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán)，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù)，包括真空設(shè)備,、真空設(shè)備,、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案,。

在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi),，零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開(kāi)發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司,。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的,。

通過(guò)與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來(lái)

ULVAC還希望通過(guò)與客戶的溝通來(lái)支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù),。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時(shí)規(guī)模更大,，但其冒險(xiǎn)精神始終沒(méi)有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神,，以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會(huì)社 零部件事業(yè)部

愛(ài)發(fā)科機(jī)工株式會(huì)社

愛(ài)發(fā)科低溫有限公司

愛(ài)發(fā)科（寧波）有限公司

韓國(guó)愛(ài)發(fā)科低溫公司

愛(ài)發(fā)科低溫技術(shù)（寧波）有限公司

愛(ài)發(fā)科銷售有限公司

愛(ài)發(fā)科科技有限公司






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