日本kelk超純水加熱裝置用于清洗硅晶片等 PWH-144i 特點(diǎn)介紹

熱水供應(yīng)裝置非常適合使用超純水對硅晶片和液晶玻璃基板進(jìn)行現(xiàn)場清洗,。

本裝置是對半導(dǎo)體制造線上的硅芯片的清洗、液晶制造線上的玻璃基板的清洗等使用的超純水進(jìn)行加熱的裝置,。

加熱部由高品質(zhì)石英玻璃雙層覆蓋的鹵素?zé)艚M成,，無雜質(zhì)污染，高效的超純水加熱安裝,。

而且,，特別是緊湊型由于設(shè)計(jì)精巧，使用點(diǎn)的安裝空間最小化,。

日本kelk超純水加熱裝置用于清洗硅晶片等 PWH-144i 規(guī)格參數(shù)

1.清潔加熱部的容器為石英玻璃,，配管部為氟樹脂。2.緊湊型,，不占用安裝面積,。3.高性能溫控高輸出鹵素?zé)魩淼膬?yōu)異的升溫上升特性和流量變化的溫控。4.高效率加熱效率95%以上,。5.安全過溫空中燃燒通過針對漏水等的安全功能及警報功能,，對應(yīng)安全性。1.硅芯片清洗2.液晶用玻璃基板的清洗3.代替其他氟氯化碳系清洗的溫純水清洗

熱水供應(yīng)裝置非常適合使用超純水對硅晶片和液晶玻璃基板進(jìn)行現(xiàn)場清洗,。

本裝置是對半導(dǎo)體制造線上的硅芯片的清洗,、液晶制造線上的玻璃基板的清洗等使用的超純水進(jìn)行加熱的裝置。

加熱部由高品質(zhì)石英玻璃雙層覆蓋的鹵素?zé)艚M成,，無雜質(zhì)污染,，高效的超純水加熱安裝。

而且,，特別是緊湊型由于設(shè)計(jì)精巧,，使用點(diǎn)的安裝空間最小化。