產(chǎn)品名稱：Veeco Instruments退火系統(tǒng)LSA 101

產(chǎn)品型號(hào)：LSA 101

產(chǎn)品介紹

Veeco的LSA101系統(tǒng)安裝在DM和鑄造廠,，是大批量生產(chǎn)40nm至14nm節(jié)點(diǎn)的邏輯器件的技術(shù)。LSA101的掃描技術(shù)建立在Veeco可定制的Unity平臺(tái)上,，在均勻性和低應(yīng)力處理方面具有基本優(yōu)勢(shì),。LSA101系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵毫秒退火應(yīng)用，使客戶能夠保持準(zhǔn)確,、有針對(duì)性的高處理溫度,，從而實(shí)現(xiàn)器件性能的提高、更低的泄漏和更高的產(chǎn)量,。

標(biāo)準(zhǔn)LSA101配置利用單個(gè)窄激光束將晶片表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度,。為了應(yīng)對(duì)日益復(fù)雜的工藝需求，Veeco開發(fā)了一種雙光束技術(shù)，該技術(shù)擴(kuò)展了非熔化激光退火的應(yīng)用空間,，并采用第二種低功率激光束實(shí)現(xiàn)低溫加工,。當(dāng)使用雙光束時(shí)，引入第二較寬的激光束來(lái)預(yù)熱晶片,。雙梁系統(tǒng)在調(diào)節(jié)溫度和應(yīng)力分布方面提供了靈活性,。

性能特點(diǎn)

l Ultratech的激光處理系統(tǒng)提供了解決方案，以應(yīng)對(duì)制造具有高度激活的源極/漏極觸點(diǎn)的超淺結(jié)晶體管的艱巨挑戰(zhàn)

l LSA在高達(dá)1350°C的溫度下提供亞毫秒熱退火過程,，從而以小的摻雜劑擴(kuò)散減少激活

l Ultratech的光學(xué)設(shè)計(jì)與其他毫秒退火系統(tǒng)相比,，將與圖案相關(guān)的模內(nèi)溫度變化減少了>10倍

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：美國(guó)

節(jié)點(diǎn)：40nm到10nm

平臺(tái)：Unity Platform

系統(tǒng)類型：雙梁

技術(shù)：雙光束

精度：亞毫秒

溫度：高達(dá)1350°C

加工方式：低溫

安裝：DM和鑄造廠

標(biāo)準(zhǔn)配置：單個(gè)窄激光束