Adwill-Global全自動研磨用保護(hù)膠帶貼合機 RAD-3520F/12 特點介紹

擴(kuò)充暢銷機型“RAD-3510F/12”的功能,，實現(xiàn)高性能,、省空間化。

1. 標(biāo)準(zhǔn)的雙裝載端口

2. 具有掃片功能的FOUP裝載端口作為標(biāo)準(zhǔn)功能提供

3. 設(shè)備占地面積約縮小30%

4. 可實現(xiàn)70片/小時的高生產(chǎn)能力 選用高速規(guī)格時,，可實現(xiàn)最大100片/小時的生產(chǎn)能力

5. 每卷膠帶的晶圓貼膜數(shù)量最多可提高16％※膠帶長度為100m/卷,，晶圓尺寸為300mm（12英寸）直徑時

6. 可搭載多種選配功能 ESD措施、各種清潔功能,、自動換刀等

Adwill-Global全自動研磨用保護(hù)膠帶貼合機 RAD-3520F/12 規(guī)格參數(shù)

 A．晶圓裝載,、掃片、取片

通過掃描檢測晶圓盒內(nèi)的晶圓,。根據(jù)其檢測結(jié)果,，由多軸機械臂取片，并運輸至校準(zhǔn)單元,。

B．晶圓校準(zhǔn)

晶圓以V形缺口或平邊為基準(zhǔn),，以非接觸方式對晶圓的圓心進(jìn)行校準(zhǔn)后，運輸至貼膜臺,。

C．研磨用表面保護(hù)膠帶貼合

利用roll-to-roll方法,，使用壓輥進(jìn)行研磨用表面保護(hù)膠帶貼合。利用最新的TTC機構(gòu),，實現(xiàn)低張力貼合,。

D．膠帶切割

通過3D運動控制(x、y,、θ),，沿晶圓外周進(jìn)行膠帶切割。