1. 產(chǎn)品概述

RIE-200NL是一種負載鎖定型的反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng),，它提高了工藝的可重復(fù)性，并允許腐蝕性氣體化學(xué),。優(yōu)化的工藝室設(shè)計可在?8 "晶圓或?220mm小晶圓的載盤上提供優(yōu)異的均勻性。該系統(tǒng)可實現(xiàn)精確的側(cè)壁輪廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性,。RIE-200NL設(shè)計時尚,、緊湊,，只需小的潔凈室空間。

2. 設(shè)備用途/原理

大加工范圍：?220 mm (?3" x 5, ?4" x 3, ?8" x 1),。對稱的排空設(shè)計提高了蝕刻的均勻性,。工藝室通過負荷鎖定室與環(huán)境隔離，提高了工藝的可重復(fù)性,，并可進行腐蝕性氣體的化學(xué)反應(yīng),。計算機觸摸屏為參數(shù)控制和存儲提供了一個用戶友好的界面。自動壓力控制,，可精確控制工藝壓力,，不受氣體流量影響。干式泵和系統(tǒng)布局便于維護,。RIE-200NL設(shè)計時尚,、緊湊，只需小的潔凈室空間,。

3. 設(shè)備特點

GaN,、GaAs、InP等化合物半導(dǎo)體的氯基蝕刻,。各種材料的蝕刻,，如Si、SiO2,、SiN,、Poly-Si、Al,、Mo,、Pt、Polyimide等,。故障分析中的選擇性層蝕刻,。