山武流量控制器

MQV0020BSRN000000

山武流量控制器

質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,，氧化,，分子束外延，CVD,，等離子刻蝕,，濺射,，離子注入,，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉,，微反應(yīng)裝置,，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣相色譜儀,，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中,。并廣泛用于石油化工。冶金,，制藥等,。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好

流量計(jì)一般分為以下幾種類(lèi)型：

1. 容積式流量計(jì),，又稱(chēng)定排量流量計(jì),。它利用機(jī)械測(cè)量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分,，根據(jù)測(cè)量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來(lái)測(cè)量流體體積流量。

2. 浮子式流量計(jì),，又稱(chēng)轉(zhuǎn)子流量計(jì),，是變面積式流量計(jì)的一種，在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中,，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的,，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

差壓式流量計(jì)

3. 差壓式流量計(jì) ,，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測(cè)件產(chǎn)生的差壓,，已知的流體的條件和檢測(cè)間與管道的尺寸來(lái)計(jì)算流量的儀表

5. 渦輪流量計(jì)，是速度式流量計(jì)中的主要種類(lèi),，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子（渦輪）感受流體平均流速,，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。

6. 超聲流量計(jì),，通過(guò)檢測(cè)流體流動(dòng)對(duì)超聲束（或超聲脈沖）的作用以測(cè)量流量的儀表,。

7. 電磁流量計(jì)，電磁流量計(jì)是根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律制成的一種測(cè)量導(dǎo)電性液體的儀表,。電磁流量計(jì)有一系列優(yōu)良特性,可以解決其它流量計(jì)不易應(yīng)用的問(wèn)題,如臟污流,、腐蝕流的測(cè)量。

8. 熱式流量計(jì),，熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件,，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化,。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值,，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí),，電加熱消耗的能量,，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比,，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量

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山武 SDC20 C206DA00201

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