YUSHITECH E-P100氣體質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 5600 |
| 訂貨量 | ≥1條 |
- 公司名稱 杭州域勢(shì)科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/18 8:56:06
- 訪問次數(shù) 547
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,制藥/生物制藥 |
|---|
YUSHITECH E-P100氣體質(zhì)量流量控制器
經(jīng)濟(jì)型數(shù)字質(zhì)量流量控制器
該產(chǎn)品采用最新一代的工業(yè)級(jí)氣體流量檢測(cè)芯片,、高級(jí)電磁比例閥,、316L不銹鋼氣路底座，結(jié)合高速數(shù)字處理電路以及溫度補(bǔ)償算法,，可實(shí)現(xiàn)最小0.2sc cm ,、最大20slm流量范圍內(nèi)的氣體流量快速控制。該產(chǎn)品可以用于配氣儀,、分析儀,、真空鍍膜、焊接等應(yīng)用場(chǎng)景,。
MEMS流量傳感器芯片工作原理
基于科學(xué)家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與其質(zhì)量流量成正比”理論發(fā)展而來 ,。無氣流時(shí)， 以Heater為中心的溫度場(chǎng)對(duì)稱分布,；有氣流時(shí),，溫度場(chǎng)分布發(fā)生偏移，導(dǎo)致上下游出現(xiàn)溫差,，通過測(cè)量該溫差,，即可推算出流過芯片表面的氣體質(zhì)量流量。
YUSHITECH E-P100氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品規(guī)格
基本參數(shù) | |
介質(zhì)要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質(zhì)種類 | 空氣,、氮?dú)?、氧氣、二氧化碳,、氦氣,、氫氣、甲烷、氬氣?/span> |
量 程1 （氮?dú)獾刃В?/span> | （0～20,50,100,200,500）sccm （0～1,2,5,，10,20）slm |
精度 | 0.8%F.S.2 或 1.0%S.P. 3 取更大者 |
量程比 | 100:1 |
響應(yīng)時(shí)間4 | ≤ 1s |
重復(fù)精度 | ≤±0.2%F.S. |
分辨率 | 0.01sccm,，≤100sccm 0.1sccm，≤1slm且>100sccm 1sccm,，≤5slm且>1slm 0.01slm,，>5slm |
漏率 | ≤1×10-9 Pa m3/s He |
最大耐壓 | 9.8bar |
環(huán)境條件 | |
工作溫度 | 0～50℃ |
工作濕度 | 10%～90%R.H. (無結(jié)冰、無凝霜) |
工作壓力5 | 0.5-4bar,，>2slm 0.5-6bar,≤2slm （具體量程相關(guān)） |
儲(chǔ)存溫度 | -20～85℃ |
電氣參數(shù) | |
供電電壓 | DC24V,，紋波≤50mv |
功耗 | ≤2.7W |
啟動(dòng)時(shí)間 | ≤1s |
通信接口 | |
接口類型 | D-SUB9 |
模擬控制 | 0～5V |
數(shù)字控制 | RS485或RS232 |
數(shù)字信號(hào)（RS485/RS232） | |
接口類型 | D-SUB9 |
通信速率 | 9600（默認(rèn)），14400,，19200,，38400，56000,，57600,，115200 （可通過指令或上位機(jī)修改） |
協(xié)議 | Modbus-RTU |
設(shè)備地址 | 1（默認(rèn)）～250 （可通過指令或上位機(jī)修改） |
機(jī)械參數(shù) | |
接頭類型 | 卡套：8mm、1/4inch,、1/8inch 其它可選 |
氣體接觸材質(zhì) | 316L不銹鋼,、氟橡膠、二氧化硅 |
主體材質(zhì) | 底座：316L不銹鋼 外殼：鋁合金 |
密封材質(zhì) | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.90kg |
備注
* 除非另有說明,，本產(chǎn)品標(biāo)定于以下條件：氮?dú)狻?5 ℃,、2.5bar差壓 (進(jìn)氣口3.5barA，出氣口 1barA),、水平放置,。
* 建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能會(huì)引起精度產(chǎn)生偏差,。
* 建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭,，以避免導(dǎo)致額外的壓損。
1 所示量程為氮?dú)饪蛇x量程,。
2 %F.S.指誤差占滿量程的百分比,。
3 %S.P.指誤差占設(shè)定值的百分比。
4 響應(yīng)時(shí)間指達(dá)到設(shè)定值±2%以內(nèi)所需要的時(shí)間,。
5 工作壓力指進(jìn)氣口與出氣口之間的差壓,。
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