日本unozawa干式真空泵用于清潔工藝非腐蝕 TS系列 特點(diǎn)介紹

這是一款“用于清潔工藝的ECO干式真空泵”,，具有低功耗和出色的耐用性。

非常適合需要清潔真空,、無(wú)油反擴(kuò)散和高可靠性的非腐蝕性氣體應(yīng)用,。

日本unozawa干式真空泵用于清潔工藝非腐蝕 TS系列 規(guī)格參數(shù)

?低功耗

由于是多級(jí)羅茨型，因此可以大幅降低功耗,。

?高耐久性

由于是帶有回流冷卻機(jī)構(gòu)的多級(jí)羅茨型,，因此具有優(yōu)異的耐久性。

?泵內(nèi)不會(huì)產(chǎn)生清潔真空油的反擴(kuò)散或灰塵,。

?低噪音,、低振動(dòng)

轉(zhuǎn)子經(jīng)過(guò)嚴(yán)格平衡，標(biāo)配排氣消音器,。

?散熱性低

由于采用水冷方式,，因此采用向周圍散發(fā)較少熱量的結(jié)構(gòu)。

?采用密封結(jié)構(gòu)密封電機(jī),，泄漏率小于E10 - 6Pa?m3/sec,。

?維護(hù)間隔長(zhǎng)

由于氣體接觸部分沒有滑動(dòng)部件，因此可以長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行,。

?真空蒸鍍裝置,、濺鍍裝置、

負(fù)載鎖合

裝置,、等離子清洗裝置

,、硅單晶拉制裝置、電子

束加工機(jī)

,、氣體循環(huán)/回收裝置

,、氣體置換

裝置,、真空成型裝置

、真空吸附輸送裝置

,、真空包裝裝置

,、真空脫氣裝置等消泡

、真空冷卻

,、分析設(shè)備,、理化實(shí)驗(yàn)設(shè)備

、低溫泵粗抽及再生

,、各類粗抽,、TMP背泵

、等潔凈真空設(shè)備

請(qǐng)將此真空泵用于清潔真空泵應(yīng)用,。

不得排放含有腐蝕性氣體,、有毒氣體、易爆,、溶劑等的氣體,。