美國Entegris耐腐蝕檢測(cè)電鍍?nèi)芤航庋鯗y(cè)定儀 Entegris 特點(diǎn)介紹

一種先進(jìn)的基于光學(xué)的監(jiān)測(cè)解決方案,，用于檢測(cè)和監(jiān)測(cè)電鍍?nèi)芤簯?yīng)用中極低水平的溶解氧,。InVue ®溶解氧分析儀 (DOX) 連續(xù)測(cè)量溶解氧，過程影響最小,。

與溶解氧發(fā)生反應(yīng)的高靈敏度發(fā)光體（可在安裝位置更換）

耐腐蝕,、高純度設(shè)計(jì)，PTFE 外殼內(nèi)有干凈的硅膠潤(rùn)濕膜

兩個(gè)模擬輸出：濃度和溫度

美國Entegris耐腐蝕檢測(cè)電鍍?nèi)芤航庋鯗y(cè)定儀 Entegris 規(guī)格參數(shù)

電鍍液裝置和槽中溶解氧的存在是工藝用藥液的重要課題,。當(dāng)溶解氧達(dá)到不可控制的水平時(shí),，會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)性降低或觸點(diǎn)腐蝕。

為了滿足這一關(guān)鍵工藝要求,，InVue采用先進(jìn)的,、基于光學(xué)的高靈敏度發(fā)光管（傳感器）,，用于高純度、高反應(yīng)性鍍液裝置和槽應(yīng)用,。

™（預(yù)覽）開發(fā)了溶解氧濃度計(jì),。這種透視溶解氧濃度計(jì)，經(jīng)過驗(yàn)證的發(fā)光,、通過利用檢測(cè)技術(shù),，可持續(xù)測(cè)量溶解氧水平，

通過PTFE殼體內(nèi)的清潔硅液相接膜,，透視濃度計(jì)可監(jiān)視金屬反應(yīng)性鍍液中的溶解氧水平,。

這可以提高工藝生產(chǎn)率，延長(zhǎng)設(shè)備和工藝液的使用壽命,，從而降低運(yùn)營(yíng)成本,。

此外，在下一代20納米以下前端光線（FEOL）和后端光線（BEOL）工藝中,，可提供類似的性能,。