日本kokusai高頻電源用等離子體,、半導體等 特點介紹

這是用于半導體制造設(shè)備和工業(yè)加工機器等離子發(fā)生的高頻電源。我們生產(chǎn)各種頻率（HF 至 UHF）的高頻電源和匹配盒,。

我們利用在無線通信系統(tǒng)開發(fā)中長年積累的高頻技術(shù),，實現(xiàn)了高反射電阻,。

在等離子體阻抗分析的支持下，可以優(yōu)化匹配盒,，提高匹配收斂速度,。

日本kokusai高頻電源用等離子體、半導體等 規(guī)格參數(shù)

通過采用具有高反射功率容限的最新器件,，我們實現(xiàn)了即使在全反射狀態(tài)下也能在一定時間內(nèi)實現(xiàn)輸出的設(shè)計,，無需隔離器且無輸出下降。

高頻電源的設(shè)計必須假設(shè)負載會動態(tài)變化,。例如,，即使等離子體點燃前后出現(xiàn)較大的負載波動，反射系數(shù)從無窮大變?yōu)榱?，器件也一定不會損壞,。

一般情況下，如果負載情況不好,，可以降低輸出,，以保護器件本身，并在匹配盒完成匹配操作后,，輸出的輸出,，也可以應(yīng)用于無法完成的應(yīng)用。時間,。

*1RF：射頻*2RF 上升時間：RF 輸出從 10% 上升到 90% 的時間

RF 下降時間：RF 輸出從 90% 下降到 10% 的時間

頻率HF頻段,、VHF頻段 

輸出功率5/10/20/30/40KW 

輸出方式連續(xù)、脈沖 

這是用于半導體制造設(shè)備和工業(yè)加工機器等離子發(fā)生的高頻電源,。我們生產(chǎn)各種頻率（HF 至 UHF）的高頻電源和匹配盒,。

我們利用在無線通信系統(tǒng)開發(fā)中長年積累的高頻技術(shù)，實現(xiàn)了高反射電阻,。

在等離子體阻抗分析的支持下,，可以優(yōu)化匹配盒，提高匹配收斂速度,。