CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設(shè)備,，合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計,，優(yōu)化的腔體尺寸，使得處理樣品更大,，適用范圍更廣,。 產(chǎn)品性能穩(wěn)定，操作簡單方便,，易維護(hù),。

應(yīng)用領(lǐng)域：

等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子,、半導(dǎo)體,、線 路板,、LED、微流控,、光電太陽能,、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，主要用 于材料表面進(jìn)行清洗,、改性,、刻蝕等目的。

 產(chǎn)品特點：

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯,。

◆  PLC 控制整個清洗過程,，手動、自動兩種工作模式,。

◆  用美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計或質(zhì)量流量計  (CPC-FM),，可輸入氧氣、氬氣,、氮氣,、氫氣或混合氣等氣體，氣體控制準(zhǔn)確,。

◆  氣體返填吹掃,，HEPA 高效過濾，防止二次污染,。

◆  316 不銹鋼,、石英真空艙可選擇，全真空管路系統(tǒng)采用316 不銹鋼材質(zhì),，耐腐蝕無污染,。

◆  采用 60 度傾角操作面板設(shè)計，符合人體功能學(xué),，操作方 便,，界面友好。

◆  上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計,，結(jié)構(gòu)緊湊,，占地空間小。

◆  內(nèi)凹式前面板設(shè)計,，有效保護(hù)流量計和艙門不易損壞,。

◆  處理快速高效均勻，無污染,，工藝重復(fù)性好,。

◆  樣品處理溫度低,，無熱損傷和熱氧化。

◆  安全保護(hù),，艙門打開,，自動關(guān)閉電源。

技術(shù)參數(shù)