Electro-Damp II TMC主動空氣消振器
| 參考價 | ￥100000-￥500000/件 |
- 公司名稱 努美（北京）科技有限公司
- 品牌TMC
- 型號Electro-Damp II
- 所在地北京市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2024/12/6 13:44:23
- 訪問次數(shù) 1096
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,綜合 |
TMC主動空氣消振器Electro-Damp II
Electro-Damp®是第一款專門用于提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用中的吞吐量,、分辨率和產(chǎn)量的商用主動隔振系統(tǒng),。Electro-Damp II是對原始系統(tǒng)的*全重新設(shè)計，增加了模塊化,、數(shù)字控制,、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個專門設(shè)計用于OEM應(yīng)用（如顯微光刻,、檢測和計量工具）的數(shù)字用戶界面,。
半導(dǎo)體制造工具對其隔振系統(tǒng)提出了相互矛盾的要求。為了應(yīng)對地面噪音,，系統(tǒng)必須足夠柔軟,，以有效地過濾地面振動，阻止其到達(dá)隔振表面,。同時,，系統(tǒng)必須足夠堅硬,，以應(yīng)對工作臺的力，以便工作臺運動使隔振表面產(chǎn)生最小位移并能快速穩(wěn)定,。
除了采用慣性,、主動反饋阻尼之外，Electro-Damp II還使用信息前饋來進(jìn)一步改善系統(tǒng)響應(yīng),。前饋從工作臺控制器獲取關(guān)于工作臺位置和加速度的信息,，然后處理這些數(shù)據(jù)，以向有效載荷提供力驅(qū)動,，從而大大減少了由工作臺引起的有效載荷運動,。系統(tǒng)可以以數(shù)字方式讀取前饋信息，作為雙極性模擬信號,，或通過讀取正交編碼器的輸出,。DC-2000數(shù)字控制器還可以使用工作臺測試模式自動調(diào)整前饋所需的參數(shù)。這使得在初始安裝時或在更改有效載荷之后能夠快速簡便地進(jìn)行設(shè)置,。
Electro-Damp II的模塊化設(shè)計允許系統(tǒng)單獨與電子伺服閥一起使用（適用于重型,、低加速度應(yīng)用，如CMM）,、只與電磁驅(qū)動一起使用（適用于使用高加速度的較輕工作臺）或與兩者結(jié)合使用（適用于*苛刻的應(yīng)用）,。
TMC主動空氣消振器Electro-Damp II特點
●六自由度主動減振系統(tǒng)
●非接觸式電子高度控制
●數(shù)字控制器
●前饋輸入校正由工作臺引起的有效載荷運動
●高力電磁執(zhí)行器可單獨提供或被集成在系統(tǒng)中
●減少有效載荷運動和由工作臺引起的運動的穩(wěn)定時間
●提高吞吐量、分辨率和產(chǎn)量
●模塊化設(shè)計允許用戶*定一個完整的單元或組件,，以便OEM集成
●自動調(diào)整前饋參數(shù)以減少設(shè)置
規(guī)格
通用 | |
穩(wěn)定時間 | 0.2秒** |
主動自由度 | 6 |
高度控制精度 | < 10 µm at sensorsd> |
線性執(zhí)行器（水平和垂直） | |
直流電阻 | 5 Ω |
力常數(shù) | 高達(dá)12磅/安 | 55牛/安 |
最大連續(xù)力 | 25磅| 110牛 |
峰值力@ 7 A | 87磅| 385牛 |
電氣時間常數(shù) | 2.6毫秒 |
行程 | 0.25英寸 | 6.4毫米 |
橫向間隙 | 0.09英寸 | 2.3毫米 |
雜散場 | < 1 G @ 2 in.d> |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 2.8 x 6.8 x 4.5英寸 |
閥門（僅限主動） | |
閥門類型 | 比例E/V伺服 |
控制類型 | 壓力或氣流 |
最大流量 | 1.5 SCFM |
耗氣量（4個隔振器） | < 2 SCFM (no stage motion)d> |
- 3 dB響應(yīng) | ≤10 Hz（典型值）,。 |
高度控制傳感器 | |
輸入 | 非接觸式感應(yīng)（渦流） |
電子配置 | 雙線式NAMUR |
范圍 | 標(biāo)稱15毫米，用于30毫米電線 |
分辨率 | < 1 µmd> |
被動氣動安裝座 | |
標(biāo)準(zhǔn)承重能力 | 1,000,、2,500、3,300,、5,700磅@ 80 PSI |
阻尼（10:1） | < 3 sd> |
DC-2020數(shù)字控制器 | |
處理器 | 雙核： |
模擬I/O | 32/24通道（16/16位） |
采樣率 | 標(biāo)稱值為5 kHz |
前面板 | 電源開關(guān) |
后面板 | 電源輸入 |
用戶界面 | 通過USB或以太網(wǎng)的GUI |
電源 | 90-240 VAC,，50-60 Hz，最大100 W |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 16.8 x 9.0 x 1.75英寸 |
功率放大器 | |
通道 | 8 |
每個通道的最大電流 | 7 A |
輸入 | 線性 |
峰值功率 | 總共700瓦 |
冷卻 | 環(huán)境,，強制通風(fēng) |
保護(hù) | 可復(fù)位保險絲,、電子熱保護(hù)、過流,、欠壓 |
操作 | 遙控或手動 |
尺寸 | 1 RETMA機架單元高度 x 15英寸（381毫米）深 |
應(yīng)用說明
Electro-Damp®
在Precitech的Freeform L超精密機床上使用PEPS II-VX進(jìn)行3軸（XYZ）測量
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