日本okksg半導體電子元件全自動UV紫外黑光 FBUV-系列 特點介紹

黑光規(guī)格的全自動UV照射機是自動取出卡匣供給的晶圓框,，照射

UV光并進行保管的裝置,。切割后，紫外線照射會降低膠帶的粘合強度,，使其更容易拾取,。

兼容 8 英寸和 12 英寸晶圓框架，可自動更換設置,。

盒式裝置可實現全自動照射,。

旋轉轉盤可實現均勻一致的紫外線照射,。

多種UV照射條件（時間設定或累積光強度設定）

在觸摸屏上實時顯示紫外線照度。

由于黑光規(guī)格,，功耗較低,。

兼容8英寸/12英寸磁帶。（可以通過觸摸面板自動完成設置更改）

日本okksg半導體電子元件全自動UV紫外黑光 FBUV-系列 規(guī)格參數

盒式裝置可實現全自動照射,。

旋轉轉盤可實現均勻一致的紫外線照射,。

多種UV照射條件（時間設定或累積光強度設定）

在觸摸屏上實時顯示紫外線照度。

由于黑光規(guī)格,，功耗較低,。

兼容8英寸/12英寸磁帶。（可以通過觸摸面板自動完成設置更改）

尺寸寬770×深1090×高1200（毫米） 

重量約250公斤 

駕駛空氣0.4～0.5Mpa 65L/min 

紫外線照度9mW/cm2以上 

氮氣0.4～0.5Mpa 100L/min 

電源AC100V 50/60Hz 30A