ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 觸針 輪廓儀

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P-170是在經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的P-17的基礎(chǔ)上增加了自動(dòng)運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的型號(hào),。標(biāo)準(zhǔn)配備傳送機(jī)器人,、預(yù)對(duì)準(zhǔn)器、自動(dòng)XY-θ平臺(tái),、模式識(shí)別功能等,，因此只需放置盒即可自動(dòng)測(cè)量。

特征

■晶圓自動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)

?支持Φ200mm單開(kāi)晶圓盒

?支持雙開(kāi)晶圓盒（選配）

?晶圓傳送機(jī)械手,、非接觸式預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

?支持φ75mm～φ150mm（選配）

■晶圓表面自動(dòng)測(cè)量

?高精度自動(dòng)XY-采用 θ 平臺(tái)

- 測(cè)量位置最多可注冊(cè) 1,000 個(gè)位置

- 使用模式識(shí)別功能校正測(cè)量位置

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森,、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯,、SERIC索萊克

SONIC索尼克,、SANKO三高、NEWKON新光,、HAYASHI 林時(shí)計(jì),、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁,、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田,、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué),、NIPPON GEAR日本齒輪

優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾,、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克,、FUNATECH船越龍,、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨,、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研,、TOKYO DENSHOKU電色,、KKIMAC

S-VANS斯萬(wàn)斯、ORIHARA折原,、LUCEO魯機(jī)歐,、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得,、T&D天特,、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波,、OKANO岡野,、ANRITSU安立計(jì)器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐,、KYOWA共和,、ONOSOKKI小野、SANEI三榮,、HEIDON新東科學(xué)

HEIDON新東,、KURABO倉(cāng)紡、SHOWA昭和,、THINKY新基,、AIKOH愛(ài)光

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密,、SANSYO三商,、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美,、EIWA榮和,、EXCEL艾庫(kù)斯、YODOGAWA淀川等