真空快速退火爐 8寸
- 公司名稱 昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/4/13 21:00:01
- 訪問次數(shù) 88
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
規(guī)格參數(shù):
1,、樣品尺寸:AS-master:8-inch,,Up to 200 mm diameter;
2,、溫度范圍:AS-master室溫~1450 ℃,;
3、升溫速率:AS-master :0.1 ℃~150 ℃/s ,;
4,、溫度控制:快速數(shù)字PID控制,;
5、熱電偶:2個K型熱電偶,;
6,、低溫高溫計溫度范圍:150℃~1100 ℃;
7,、高溫高溫計溫度范圍:400℃~1500 ℃,;
8、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計(MFC)4路:氮氣,、氬氣,、混合氣體、氧氣,;
9,、配置分子泵及真空規(guī),真空度達(dá)10-6hPa,;
10,、紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷(低噪音水平,,無需壓縮空氣),;
11、加熱由功率控制而非電壓控制,,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到最初的熱處理效果,;
12,、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,,冷壁設(shè)計,,雙層不銹鋼;
冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于:1,、無記憶,,2、工藝重復(fù)性高,,3,、冷卻速度快;
13,、反應(yīng)腔室的設(shè)計,,氣體的進(jìn)入口設(shè)計在wafer的表面,避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性,;
14.安裝條件:Voltage : 3x400V+N+Gr
Power : 75 kW, 90 kW or 105 kW
Water : 2 to 4 bars, pressure drop 1 bar, 30 to 50 l/mn
Compressed air : 6 bars (valve actuation)
Process gas fittings : double ferrule ? or VCR ? (option)