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真空快速退火爐 8寸

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應(yīng)商,,昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所,、半導(dǎo)體企業(yè),。

昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應(yīng)測試儀(Hall Effect Measurement System),;

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System),;

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station),;

- 貼片機(Die Bonder),,劃片機(Scriber),球焊機/鍥焊機(Wire Bonder),;

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,等離子增強原子層沉積設(shè)備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(Sputter),,電子束蒸發(fā)鍍膜機(E-beam Evaporator),,熱蒸發(fā)鍍膜機(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),,等離子增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),,快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應(yīng)離子刻蝕機(RIE),,ICP刻蝕機,等離子體刻蝕機,;

- 致冷機/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler),;

- 加熱臺、熱板,、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate),;

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer),;

- 高溫超導(dǎo)磁體(HTS Magnet),,快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),,快速退火爐,,PECVD,刻蝕機

規(guī)格參數(shù):

1,、樣品尺寸:AS-master8-inch,,Up to 200 mm diameter

2,、溫度范圍:AS-master室溫~1450 ℃,;

3、升溫速率:AS-master :0.1 ℃~150 ℃/s ,;

4,、溫度控制:快速數(shù)字PID控制,;

5、熱電偶:2個K型熱電偶,;

6,、低溫高溫計溫度范圍:150℃~1100 ℃;

7,、高溫高溫計溫度范圍:400℃~1500 ℃,;

8、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計(MFC)4氮氣,、氬氣,、混合氣體氧氣,;

9,、配置分子泵及真空規(guī),真空度達(dá)10-6hPa,;

10,、紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷(低噪音水平,,無需壓縮空氣),;

11、加熱由功率控制而非電壓控制,,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到最初的熱處理效果,;

12,、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,,冷壁設(shè)計,,雙層不銹鋼;

冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于:1,、無記憶,,2、工藝重復(fù)性高,,3,、冷卻速度快;

13,、反應(yīng)腔室的設(shè)計,,氣體的進(jìn)入口設(shè)計在wafer的表面,避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性,;

14.安裝條件Voltage : 3x400V+N+Gr

Power : 75 kW, 90 kW or 105 kW

Water : 2 to 4 bars, pressure drop 1 bar, 30 to 50 l/mn

Compressed air : 6 bars (valve actuation)

Process gas fittings : double ferrule ? or VCR ? (option)


售后服務(wù)
產(chǎn)品貨期:200天
整機質(zhì)保期:1年
培訓(xùn)服務(wù):安裝調(diào)試現(xiàn)場免費培訓(xùn)
問商家

Annealsys退火爐AS-master的工作原理介紹

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