六軸自由度機器人是六自由度并聯(lián)機構(gòu),，可θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運動工作臺，通過六支壓電促動器的協(xié)調(diào)伸縮實現(xiàn)空間內(nèi)六個自由度的運動,，臺體結(jié)構(gòu)緊湊,，

三種規(guī)格型號可供選擇，閉環(huán)型號定位精度高,，是六自由度微操作,、微電子精密加工等應(yīng)用。H60.XYZTR5S/K是H60系列中直線與角度位移一款,。

產(chǎn)品特點

六維θx, θy, θz, X, Y, Z軸運動,，小耦合，閉環(huán)定位精度高,，誤差無積累,；

產(chǎn)品特性

高速響應(yīng),壓電陶瓷驅(qū)動或直流伺服電機驅(qū)動；

采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu),；

較高的重復(fù)定位精度,納米級位移分辨率 ,；

配套控制器,壓電陶瓷驅(qū)動六維臺(型號:RE56)；

機體材料分鋁合金直流電機驅(qū)動六維臺(型號:Rz6),；

采用數(shù)控,、線切割等加工工藝,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度。