CKD集成化供氣系統(tǒng)

型號： IAGD5

行業(yè)

半導(dǎo)體制造工序（前工序）

化學(xué)氣體供給設(shè)備用元件

產(chǎn)品特點：【集成單元】
通過緊湊集成標(biāo)準(zhǔn)化部件,，構(gòu)建工藝氣體供氣線,。
實現(xiàn)了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設(shè)計到裝配,、檢查完成后交付,，可減少客戶的工時。

CKD集成化供氣系統(tǒng)
型號： IAGD5   衍生系列

ckd集成化供氣系統(tǒng)IAGD5

化學(xué)液體用氣動閥的新標(biāo)準(zhǔn),。

它是一款支持各種壓力,、溫度和流體條件的端產(chǎn)品。

它可以統(tǒng)一使用中所有細(xì)分的模型,。

行業(yè)

半導(dǎo)體制造過程（預(yù)處理）

化學(xué)液體供應(yīng)設(shè)備的組件

ckd集成化供氣系統(tǒng)IAGD5

備有最大扭矩22和45N·m兩種尺寸。

配備 4、194 和 304 個脈沖的編碼器分辨率,，可實現(xiàn) ±2 秒的重復(fù)精度,。

產(chǎn)品可以直接從頂部或底部安裝，無需拆下蓋子,。這顯著減少了工作時間,，尤其是從頂部安裝時?！揪S護(hù)方便】

滑塊側(cè)面設(shè)有可直接從外部供給油脂的油脂供給口,。不分解主體，從一處輸送油脂,，維護(hù)導(dǎo)軌和滾珠絲杠,。[低塵規(guī)格選項]

提供相當(dāng)于 2.5 級（ISO14644-1 標(biāo)準(zhǔn)）的清潔度。通過提供真空端口實現(xiàn)低發(fā)塵,。非常適合在清潔環(huán)境中運輸,。

* 有關(guān)清潔等級的詳細(xì)信息，請參閱產(chǎn)塵特性頁面上的目錄,。[NEW] 添加了低粉塵規(guī)格選項

[NEW] 添加了電機制造商支持

電動執(zhí)行器的無電機規(guī)格,，允許您安裝和控制每個制造商的電機。

將主體和導(dǎo)軌一體化的外軌系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,，剛性高,。主體外側(cè)設(shè)有供油口，主體頂部可安裝,，安裝維護(hù)方便,。

沖程：50~1250mm

最大搬運質(zhì)量（水平）：110kg[NEW] 添加了低粉塵規(guī)格選項

[NEW] 添加了電機制造商支持

電動執(zhí)行器的無電機規(guī)格，允許您安裝和控制每個制造商的電機,。

將主體和導(dǎo)軌一體化的外軌系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,，剛性高。主體外側(cè)設(shè)有供油口,，主體頂部可安裝,，安裝維護(hù)方便。

沖程：50~1250mm