BAG552熱電離真空計專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設計,。支持雙燈絲，具有出色的精度,、可重復性和使用壽命,。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用,。

優(yōu)勢

1,，純粹的 Bayard-Alpert 測量系統(tǒng)，適用于超高壓和高壓測量范圍
2,，雙燈絲設計
3,，電隔離電子設備，避免雜散電流
4,，滑動發(fā)射模式,，避免在切換發(fā)射流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結現(xiàn)象
5，可移動校準數(shù)據芯片,，延長了烘烤時間
6,，設定點繼電器
7，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉）,，帶用戶界面
8,，模擬輸出、RS232C 串行接口,、EtherCAT® 接口
9,，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
10，符合 RoHS 規(guī)范

典型應用

半導體工藝中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
高真空至超高真空范圍內系統(tǒng)的一般真空測量和控制

測量范圍 ：(氣, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
準確度 ：1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 讀數(shù)
可重復性： 5% 讀數(shù), 10-8 … 2 × 10-2 mbar (穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼,、鎳鐵合金,、鍍鎳,、哈氏合金、玻璃,、銥,、氧化釔 (Y2O3)、鎳,、鎢

BAG552熱電離真空計