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真空泵是指利用機(jī)械、物理,、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備,。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善,、產(chǎn)生和維持真空的裝置,。

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金,、化工,、食品、電子鍍膜等行業(yè),。

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,;

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,,摩擦損失小,,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速,;

(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;

(4)泵腔內(nèi)無壓縮,,無排氣閥,。結(jié)構(gòu)簡單,、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,;

(5)壓縮比較低,,對氫氣抽氣效果差;

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,,加工和檢查比較困難,。

結(jié)構(gòu)

(1) 泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn),、排氣口水平設(shè)置,,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,,故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上,,排氣口在下,。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,,即進(jìn),、排氣方向是相互垂直的。此時,,排氣口可以從左或右兩個方向開口,,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥,。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,,高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大,、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu),。

泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,,轉(zhuǎn)子裝配方便,,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,,潤滑機(jī)構(gòu)也相對復(fù)雜,。

(2) 泵的傳動方式

真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接,。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖,。從動轉(zhuǎn)子由電動機(jī)端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻,。這種傳動方式的最大缺點是:a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便,;b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱,泵的重心偏向電動機(jī)和齒輪箱一側(cè),。

壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英,、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種天然晶體,,壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,,在一定的溫度范圍之內(nèi),壓電性質(zhì)一直存在,,但溫度超過這個范圍之后,,壓電性質(zhì)消失(這個高溫就是所謂的“居里點”)。由于隨著應(yīng)力的變化電場變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數(shù)比較低),,所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù),,但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用,。磷酸二氫胺屬于人造晶體,相對密度1.80,,熔點190℃,,能夠承受高溫和相當(dāng)高的濕度,在空氣中穩(wěn)定,。常溫下( 20℃)在水中的溶解度為37.4g,,微溶于乙醇,不溶于丙酮,,所以 已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在現(xiàn)在壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上,,比如現(xiàn)在的壓電陶瓷,,包括鈦酸鋇壓電陶瓷、PZT,、鈮酸鹽系壓電陶瓷,、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等。

壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量,,因為經(jīng)過外力作用后的電荷,只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存,。實際的情況不是這樣的,,所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態(tài)的應(yīng)力,。

壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測量中,。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計,。它具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小,、重量輕,、使用壽命長等優(yōu)異的特點。壓電式加速度傳感器在飛機(jī),、汽車,、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊測量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,,特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位,。壓電式傳感器也可以用來測量發(fā)動機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的測量與真空度的測量。也可以用于軍事工業(yè),,例如用它來測量在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力,。它既可以用來測量大的壓力,也可以用來測量微小的壓力,。

壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)測量中,,比如說心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的,因為測量動態(tài)壓力是如此普遍,,所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣,。

除了壓電傳感器之外,還有利用壓阻效應(yīng)制造出來的壓阻傳感器,,利用應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)變式傳感器等,,這些不同的壓力傳感器利用不同的效應(yīng)和不同的材料,在不同的場合能夠發(fā)揮它們的用途,。










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