ULVAC 愛發(fā)科 DIS-501 渦旋式干真空泵圖片：

常用真空泵包括干式螺桿真空泵,、水環(huán)泵、往復泵,、滑閥泵,、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等,，這些泵是我國國民經濟各行業(yè)應用真空工藝過程中的主力泵種,。

近年來， 伴隨著我國經濟持續(xù)高速發(fā)展,，真空泵相關下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭,，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展,。

ULVAC 愛發(fā)科 DIS-501 渦旋式干真空泵介紹：

（1）泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構,。

立式結構的進、排氣口水平設置,，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,，在高速運轉時穩(wěn)定性差,，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上,，排氣口在下,。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出,，即進,、排氣方向是相互垂直的。此時,，排氣口可以從左或右兩個方向開口,，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥,。這種泵結構重心低,，高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大,、中型泵多采用此種結構,。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,，轉子裝配方便,，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,，潤滑機構也相對復雜,。

（2）泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的,。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖,。

從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻,。

這種傳動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度,，齒輪的拆裝及調整也不便,；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側,。

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速,；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小,，運轉平穩(wěn),。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑,，摩擦損失小,，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速,；

(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；

(4)泵腔內無壓縮,，無排氣閥。結構簡單,、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差,；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,，加工和檢查比較困難。

⑴真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。

⑵了解被抽氣體成分,，氣體中含不含可凝蒸氣,，有無顆粒灰塵,，有無腐蝕性等。選擇真空泵時,，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵,。如果氣體中含有蒸氣、顆粒,、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,，如冷凝器、除塵器等,。

⑶真空泵在其工作壓強下,，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量,。

⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而,，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求,。

如鈦升華泵對氫有很高的抽速,，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵,，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速,，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度,。