ULVAC 愛發(fā)科 DIS-501 渦旋式干真空泵圖片：

常用真空泵包括干式螺桿真空泵,、水環(huán)泵、往復(fù)泵,、滑閥泵,、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等,，這些泵是我國國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中的主力泵種,。

近年來， 伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展,，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展,。

ULVAC 愛發(fā)科 DIS-501 渦旋式干真空泵介紹：

（1）泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu),。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,，裝配和連接管路都比較方便,。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,，故這種型式多用于小泵,。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下,。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn),、排氣方向是相互垂直的,。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口,，除接排氣管道一端外,，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好,。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu),。

泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝,。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便,，泵占地面積小,。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜,。

（2）泵的傳動(dòng)方式

真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的,。主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖,。

從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過去帶動(dòng),，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻,。

這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度,，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便,；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,；

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性,，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,，不用潤滑，摩擦損失小,，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染,；

(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥,。結(jié)構(gòu)簡單,、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,；

(5)壓縮比較低,，對(duì)氫氣抽氣效果差；

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,，加工和檢查比較困難,。

⑴真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施,。

⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣,，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等,。選擇真空泵時(shí),，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體,，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器、除塵器等,。

⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下,，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。

⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而,，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來,，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。

如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,，但不能抽氦,，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速,，兩者組合起來,，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。