VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
- 公司名稱 北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/3/7 23:15:03
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體,、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝,。本機(jī)可用于強(qiáng) 酸,、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。 本機(jī)可以對(duì)涂膜機(jī)腔室進(jìn)行抽真空,,使樣品在真空的狀態(tài)下進(jìn)行涂 膜,,適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用,對(duì)腔體抽真空時(shí)采用樣品卡盤固定樣品,。VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)不對(duì)腔體抽真空工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在樣品吸盤上,,該設(shè)備可儲(chǔ)存 12 組程序, 每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段,。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,, 使設(shè)備緩慢提升速度限速度, 有 利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,,且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi),,節(jié)約材料。VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn) 單,、清理方便,,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校,、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程,。
產(chǎn)品名稱 | VTC-200PV 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-200PV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。 |
1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口 | |
2,、電: AC220V 50Hz,,必須有良好接地 | |
3、氣:不需要 | |
4,、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上 |
5,、通風(fēng)裝置:需要 | |
主要特點(diǎn) | 1 ,、設(shè)有 12 組程序, 每組包含 6 個(gè)運(yùn)行階段,, 每段增減速率設(shè)置范圍 2、樣品可采用真空吸附的方式進(jìn)行固定,,也可采用粘結(jié)或夾持的方式進(jìn)行固定,,操作簡(jiǎn)便。 3,、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa,。 4,、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片,。 5,、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡(jiǎn)單,。 6 ,、電機(jī)采用 24V 直流無(wú)刷電機(jī),無(wú)級(jí)調(diào)速,,可靠性高,,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,,噪音低,, 震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),,啟動(dòng)快速穩(wěn)定,,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性,。 |
7 ,、當(dāng)用真空吸附方式固定樣品時(shí)采用無(wú)油雙杠真空泵,體積小巧,、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、操作容易、維 護(hù)方便,、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn),。 8、可在惰性氣體氣氛(如 Ar ,、N2 )下進(jìn)行涂層 9,、可在真空狀態(tài)下進(jìn)行涂層,此時(shí)需要用粘接基片或夾持基片的方式對(duì)被涂基片進(jìn)行固定,。 10,、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能,。 11、全英文操作系統(tǒng),。 | |
12,、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止. 13、控制器采用控制箱,,液晶顯示數(shù)值,,更直觀可靠。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1,、電源: 220V 50HZ 2,、功率: 350W/24V 3、轉(zhuǎn)速: 500rpm-6000rpm 4 ,、可儲(chǔ)存 12 組程序,, 每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段, 5,、每段增減速率設(shè)置范圍: 100 rpm s—2000 rpm /s,,每段時(shí)間范圍: 0-60s 6、吸盤規(guī)格:φ 100㎜ 7 ,、腔體真空度可達(dá) 1Torr(VRD-16 機(jī)械泵連續(xù)工作) |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:φ250mm×300mm,;重量: 25kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤φ100mm | 1 個(gè) |
2 | 卡盤 2” 3” 4” | 1 個(gè) | |
3 | 無(wú)油真空泵 | 1 臺(tái) | |
4 | 雙擊旋片真空泵 VRD-8 | 1 臺(tái) | |
5 | 中心定位器 | 1 個(gè) | |
6 | 滴膠注射器 | 1 個(gè) |
可選配件 | VRD-16 機(jī)械泵 進(jìn)口移液器 國(guó)產(chǎn)移液槍 | ||
其它尺寸的真空吸盤 |
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