大平臺(tái)晶圓線(xiàn)路板檢查測(cè)量顯微鏡測(cè)量與讀數(shù)

1.調(diào)節(jié)目鏡進(jìn)行視場(chǎng)調(diào)整,，使顯微鏡十字線(xiàn)最清晰即可,；轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)焦手輪，從目鏡中觀(guān)測(cè),，使被測(cè)工件成像清晰,；可調(diào)整被測(cè)工件，使被測(cè)工件的一個(gè)橫截面和顯微鏡移動(dòng)方向平行,。

2.轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)輪可以調(diào)節(jié)十字豎線(xiàn)對(duì)準(zhǔn)被測(cè)工件的起點(diǎn),，在標(biāo)尺上讀取毫米的整數(shù)部分，在旋轉(zhuǎn)輪上讀取毫米以下的小數(shù)部分,。兩次讀數(shù)之和是此點(diǎn)的讀數(shù)A。

3.沿著同方向轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)輪,，使十字豎線(xiàn)恰好停止于被測(cè)工件的終點(diǎn)讀數(shù)A′，記下此時(shí)所測(cè)量工件的長(zhǎng)度,。

大平臺(tái)晶圓線(xiàn)路板檢查測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)

1.主體規(guī)格

◆X坐標(biāo)行程:    310（mm）

◆Y坐標(biāo)行程：  310（mm）

◆Z坐標(biāo)行程:    50（mm）
◆操控方式：XY手動(dòng)同軸低手位粗微調(diào)可切換（帶快速移動(dòng)）

Z軸手脈電動(dòng)操控（快上-快下-中檔-慢檔切換）
◆反射照明光源：

明暗場(chǎng)反射照明器,，帶明暗場(chǎng)照明切換裝置,；

可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心,，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽,。

可根據(jù)客戶(hù)產(chǎn)品不同而選擇DIC微分干涉功能,。

2.目視系統(tǒng)
◆物鏡放大倍數(shù)：五孔旋轉(zhuǎn)器,，標(biāo)配5X,、10X、20X,、50X明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡（可選配100X）

標(biāo)配手動(dòng)鼻輪（可選配電動(dòng)鼻輪）

◆目鏡放大倍數(shù)：10X( 單,、雙目同，PL10X25mm)
◆總放大倍數(shù)：  50X-500X（包括畸變?cè)趦?nèi)的）


3.影像系統(tǒng)
◆攝像機(jī)接口：C型接口,，可調(diào)焦

◆CCD：630萬(wàn)高清數(shù)字相機(jī)（自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測(cè)）
◆綜合影像放大倍數(shù)：1000X以上

使用注意事項(xiàng):

1.在松開(kāi)每個(gè)鎖緊螺絲時(shí),，必須用手托住相應(yīng)部分，以免其墜落和受沖擊,。

2.注意防止回程誤差,，由于螺絲和螺母不可能密合，螺旋轉(zhuǎn)動(dòng)方向改變時(shí),，它的接觸狀態(tài)也改變,，兩次讀數(shù)將不同，由此產(chǎn)生的誤差叫回程誤差,。為防止此誤差,，測(cè)量時(shí)應(yīng)向同一方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使十字線(xiàn)和目標(biāo)對(duì)準(zhǔn),，若移動(dòng)十字線(xiàn)超過(guò)了目標(biāo),，就要多退回一些,，重新再向同一方向轉(zhuǎn)動(dòng),。