MS450 真空鍍膜設(shè)備
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 LEBO/雷博
- 型號(hào) MS450
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2025/3/6 18:13:53
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 1439
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鍍膜設(shè)備主要功能
鍍膜設(shè)備是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的科學(xué)儀器,,能夠在微顆粒表面沉積各種金屬薄膜(包括磁性金屬膜),、金屬氧化物薄膜、金屬氮化物薄膜及合金薄膜,,且所鍍薄膜致密,、均勻、純度高,、附著力強(qiáng)等,。
1.MS450是一臺(tái)高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備。
2.設(shè)備主要由真空室,、濺射靶槍,、濺射電源、加熱樣品臺(tái),、流量控制系統(tǒng),、真空獲得系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng),、氣路系統(tǒng),、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成,。
3.該設(shè)備主機(jī)與控制一體化設(shè)計(jì),操控方便,;結(jié)構(gòu)緊湊,,占地面積小。
4.主要用途:
1. 開(kāi)發(fā)納米級(jí)單層,、多層及復(fù)合膜層等。
2. 制備金屬膜,、合金膜,、半導(dǎo)體膜、陶瓷膜及介質(zhì)膜等,,例:銀,、鋁、 銅,、鎳,、鉻、鎳鉻合金,、氧化鈦,、氮化鈦、氮化鉻,、ITO......
3. 兩靶單獨(dú)濺射,、依次濺射、共同濺射,。
5.應(yīng)用領(lǐng)域:
1. 高校,、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品等,。
2. 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池,、OLED、OPV 太陽(yáng)能電池等行業(yè),。
操作程序
真空鍍膜設(shè)備操作程序具體操作時(shí)請(qǐng)參照該設(shè)備說(shuō)明書(shū)
和設(shè)備上儀表盤(pán)指針顯示及各旋鈕下的標(biāo)注說(shuō)明,。
①檢查真空鍍膜機(jī)各操作控制開(kāi)關(guān)是否在"關(guān)"位置,。
②打開(kāi)總電源開(kāi)關(guān),,設(shè)備送電,。
?、鄣蛪洪y拉出,。開(kāi)充氣閥,聽(tīng)不到氣流聲后,,啟動(dòng)升鐘罩閥,,鐘罩升起,。
?、馨惭b固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤(pán)上,。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位,,保證無(wú)任何雜質(zhì)污物,。
?、萋湎络娬?。
⑥啟動(dòng)抽真空機(jī)械泵,。
?、唛_(kāi)復(fù)合真空計(jì)電源(復(fù)合真空計(jì)型號(hào):Fzh-1A),。
a.左旋鈕“1”順時(shí)針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置,。
b.低真空表“2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng),當(dāng)指針移動(dòng)至110mA時(shí),,左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置,。
⑧當(dāng)?shù)驼婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針再次順時(shí)針移動(dòng)至6.7Pa時(shí),,低壓閥推入,。這時(shí)左旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。
?、嵴婵斟兡C(jī)開(kāi)通冷卻水,,啟動(dòng)擴(kuò)散泵,加熱40min,。
?、獾蛪洪y拉出。重復(fù)一次⑦動(dòng)作程序:左下旋鈕“1”轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置,。低真空表“2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng),當(dāng)指針移動(dòng)至6.7Pa時(shí),,開(kāi)高壓閥(閥桿順時(shí)針旋轉(zhuǎn)),。
?等低真空表“2”內(nèi)指針右移動(dòng)至0.1Pa時(shí),,開(kāi)規(guī)管燈絲開(kāi)關(guān)。
a.發(fā)射,、零點(diǎn)測(cè)量鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向發(fā)射位置,。
b.左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。
?旋轉(zhuǎn)發(fā)射調(diào)節(jié)鈕“4”,,使高壓真空表“5”內(nèi)指針指向5,。
?發(fā)射、零點(diǎn),、測(cè)量旋鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向零點(diǎn)位置,。
?旋轉(zhuǎn)零點(diǎn)調(diào)節(jié)鈕“10”,讓高壓真空表“5”內(nèi)指針指向0位置,。
?發(fā)射,、零點(diǎn)、測(cè)量旋鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向測(cè)量位置,。
?旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)調(diào)節(jié)鈕“3”,,讓高壓真空表“5”內(nèi)指針指向10。
?旋轉(zhuǎn)“倍加器”開(kāi)關(guān)鈕“8”至指向10-12,,當(dāng)高壓真空表“5”內(nèi)指針逆時(shí)針左移超過(guò)1時(shí),,再把“倍加器”開(kāi)關(guān)旋鈕“8”旋轉(zhuǎn)至指向10-3。
?當(dāng)高壓真空表“5”內(nèi)指針逆時(shí)針移動(dòng)超過(guò)6.7Pa時(shí),,開(kāi)工件旋轉(zhuǎn)鈕開(kāi)關(guān),鐘罩內(nèi)被鍍件PVDF膜轉(zhuǎn)動(dòng),。
?開(kāi)蒸發(fā)鈕開(kāi)關(guān),。把電流分插塞插入蒸發(fā)電極分配孔內(nèi)(設(shè)有1、2,、3,、4孔,可插入任意一孔),。
?右手旋轉(zhuǎn)右側(cè)調(diào)壓器手輪,,慢慢旋轉(zhuǎn)升壓。
a.從視鏡窗口觀(guān)察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況,。
b.當(dāng)鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色,,鋁絲開(kāi)始熔化時(shí),左手操作擋板鈕,,移開(kāi)鎢螺旋上方擋板,。
c.鋁絲全部熔化蒸發(fā),擋板回原位,。
d.右手旋轉(zhuǎn)調(diào)壓器手輪回零位,。第一次蒸鍍工作完成,。
21.如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個(gè)電極分配孔。重復(fù)?操作動(dòng)作,。
22.關(guān)閉規(guī)管燈絲開(kāi)關(guān),。關(guān)閉高壓閥(逆時(shí)針轉(zhuǎn)手柄)。關(guān)閉工件旋轉(zhuǎn),。關(guān)閉蒸發(fā),。旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵鈕至指向擴(kuò)散泵位置。
23.低壓閥拉出,。鐘罩充氣,。充氣一段時(shí)間,當(dāng)沒(méi)有氣.聲時(shí),,升鐘罩。
24.鎢螺旋加熱子內(nèi)加鋁絲,。PVDF薄膜調(diào)換另一面向下(原下面已鍍一層鋁膜面向上),。緊固在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤(pán)上。
25.落鐘罩,。開(kāi)機(jī)械泵。
a.左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置,。
b.當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到6.7Pa時(shí),低壓閥推入,。
c.左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。
d.當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到6.7Pa時(shí),,開(kāi)高壓閥。旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置,。
e.當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到指向0.1Pa時(shí),,開(kāi)規(guī)管燈絲,。
f.由?開(kāi)始重復(fù)操作至?,。
26.PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后,按順序關(guān)閉規(guī)管燈絲,、高壓閥、機(jī)械泵,、擴(kuò)散泵,。把低壓閥拉出,。鐘罩充氣,充氣完畢后升鐘罩,。取出工件,,做好鐘罩內(nèi)清理工作。
a.落下鐘罩,。
b.開(kāi)機(jī)械泵,,抽3~5min,停機(jī)械泵,。
c.切斷供電總開(kāi)關(guān),。
d.1h后再關(guān)閉冷卻水。操作全部完成,。
27.正常生產(chǎn)中,,如遇到突然停電時(shí),要立即切斷高真空測(cè)量,,關(guān)閉規(guī)管燈絲,,高壓閥、低壓閥拉出,。來(lái)電后,,先讓機(jī)械泵啟動(dòng)工作3~5min后,,再轉(zhuǎn)入正常生產(chǎn),。

