Osiris勻膠機

用于處理單晶圓的系統(tǒng),，具有用于半導體和微系統(tǒng)技術(shù)的定制基板加工選項,。

旋涂機 - CCP

設(shè)計用于以下應用：

帶蓋卡盤處理器 （CCP） 的旋轉(zhuǎn)涂層

1.UNIXX S760+

（21x21 英寸）獨立系統(tǒng)

用于大型基材的旋涂機,。

2.UNIXX SA30+

（?300毫米）獨立系統(tǒng)

帶蓋卡盤旋涂機。（單底座）

3. UNIXX SHp22+

（直徑200mm）獨立系統(tǒng)

有蓋卡盤旋涂機和加熱板模塊,。

旋涂機 - 開式轉(zhuǎn)鼓

設(shè)計用于以下應用：

帶開口碗的旋轉(zhuǎn)涂層,，用于標準涂層。

1.UNIXX SA30

（?300毫米）獨立系統(tǒng)

開式轉(zhuǎn)鼓旋涂布機,。（單底座）

2. UNIXX SHe22

（直徑200mm）獨立系統(tǒng)

開碗旋涂機和加熱板模塊,。