SIMCO思美高 離子風(fēng)棒

SIMCO思美高 離子風(fēng)棒

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散，低殘余電壓擺幅,，和精準(zhǔn)的離子平衡,，是設(shè)計用于有嚴(yán)格要求的超高潔凈半導(dǎo)體或有同類的制程環(huán)境。它采用 MP 技術(shù) - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結(jié)合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標(biāo)表面,，這突破的技術(shù)使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內(nèi),。同時配合超高潔凈的靜電針和精確的參數(shù)調(diào)整，使它達(dá)到超越 ISO Class 1 潔凈水平的

“Extended ISO Class 1”潔凈度,，適合更微小的*技術(shù)制程,。選配的吹氣輔助功能，在潔凈要求不高的環(huán)境,，能加快離子的推送,，得到更快的消散時間和有更遠(yuǎn)的工作距離。

Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術(shù)能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓,，脈沖頻率,，正負(fù)平衡，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對靜電的敏感要求,。在棒長短于 60 cm 時,，靜電針的間距是 5 cm，這樣能給出更濃密和更平均的離子覆蓋,。

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