ELIONIX-電子束光刻系統(tǒng)-ELS-HAYATE

產(chǎn)品型號(hào)：ELS-HAYATE

產(chǎn)品介紹：ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時(shí)內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具,。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細(xì)圖案分辨率的大型制造寫(xiě)入場(chǎng),。

性能特點(diǎn)：

可實(shí)現(xiàn)字段大小5mm的統(tǒng)一繪制

實(shí)現(xiàn)了業(yè)界的5毫米偏轉(zhuǎn)。因?yàn)榭梢越y(tǒng)一繪制的區(qū)域變大,，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應(yīng)用程序,。此外，由于樣品表面內(nèi)的載物臺(tái)移動(dòng)次數(shù)也減少,，高吞吐量的微細(xì)加工也能起到作用,。

采用大電流電子光學(xué)系統(tǒng)

配備高電流電子光學(xué)系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)超出電子束光刻常識(shí)的高通量微制造,。以前通過(guò)激光光刻或光刻產(chǎn)生的微米到毫米量級(jí)的圖案,，現(xiàn)在可以高質(zhì)量曝光。

400MHz生產(chǎn)用高速掃描時(shí)鐘

當(dāng)在高電流下進(jìn)行光刻時(shí),，須將光斑間距設(shè)置得較寬,，以平衡小劑量時(shí)間和良好劑量。

參數(shù)：

產(chǎn)地：日本

加速電壓：50 kV

束流：1 nA～800 nA

最小光束直徑：D 10 nm

標(biāo)準(zhǔn)場(chǎng)尺寸：5000μm

最小/最大字段大?。?/span>

最小1000μm

最大5000μm

掃描時(shí)鐘：最大400MHz

最小發(fā)射間距：最小1.0nm

最大樣品尺寸：8“晶圓/12”晶圓

最大曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米

加載機(jī)制：

單臺(tái)自動(dòng)裝載機(jī)

多功能自動(dòng)裝載機(jī)

機(jī)器人裝載機(jī)