FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)
- 公司名稱 聚光科技(杭州)股份有限公司
- 品牌 FPI/聚光科技
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/5/28 7:10:53
- 訪問次數(shù) 312
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 綜合 |
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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法,,實現(xiàn)了多點采樣、氣體自動吸收富集,、在線質量控制等全自動在線監(jiān)測功能,,解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低,、數(shù)據(jù)反饋不及時等問題,;可應用于半導體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(MA)、堿性物質(MB)污染物的在線監(jiān)測,。
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)性能優(yōu)勢
數(shù)據(jù)可靠
系統(tǒng)實現(xiàn)了自動遠距離采樣,、自動富集吸收、自動質量控制,、自動分析,、數(shù)據(jù)自動上傳全流程自動化。
避免人工誤差引入,,數(shù)據(jù)準確可靠,。
靈敏度高
大體積進樣濃縮,大幅提高系統(tǒng)檢測能力,,檢出限可達亞ppt級,,縮短系統(tǒng)運行周期。
FAAS 8000ICS 測試部分陰陽離子的檢出限
監(jiān)測面廣
單套系統(tǒng)最多可配置32個點位的樣品采集,;
系統(tǒng)通過真空泵遠距離采樣,,可覆蓋300m范圍內樣品的在線監(jiān)測。
設計合規(guī)
系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設計,,滿足SEMI F57中相關析出雜質的控制要求,。
吸收高效
在線雙吸收模塊設計,有利于節(jié)約樣品分析時間,,數(shù)據(jù)輸出更快更高效,!
應用領域
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)主要應用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測,,可擴展至大氣中離子污染物的檢測。