JED-2300/2300F 能譜儀是以“圖像觀察和分析“ 為基本理念的TEM/EDS集成系統(tǒng),，通過與SEM的馬達驅動樣品臺聯(lián)動使用，可以進行大范圍的觀察和分析,。EDS通過檢測被電子束激發(fā)出的樣品的特征X射線,，確定樣品含有的元素及成分比，可以進行微區(qū)的點分析,、線分析及面分析,。

JSM-6510/LA, JSM-6610A/LA 系列

JED-2300/2300F 能譜儀可以在SEM圖像上分析位置，開始EDS分析,。

VID

將采集的X射線譜圖和Visual PeakID（VID）合成的譜圖進行比較,，定性結果可以通過視覺,、數(shù)值判斷

Play Back

Play Back (回放) 功能
用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖，不僅保存了每一幀中各個像素點的譜圖,，還對每一幀中電子束形成的圖像進行了存儲,。利用Play back功能，可以進行多角度的分析如觀測譜圖等隨時間的變化等,。測試后數(shù)據(jù)能夠回放,，可以觀察到樣品按時間順序發(fā)生的變化，這是至今為止無法實現(xiàn)的,。此外,，利用Play Back功能還可以截取任意的畫面。

Smile Station™ 2

Smile Station™2功能通過在多個視野上自動進行分析,，生成SEM和元素面分布圖的無縫蒙太奇圖像,，也可以在取得的視野上進行連續(xù)的元素面分布和點分析等。

Dry SD 檢測器

Dry SD 檢測器（SDD檢測器）與傳統(tǒng)的EDS檢測器不同,，不需要液氮制冷,。使用快速簡單，同時實現(xiàn)了高分辨率和高計數(shù)率處理,。