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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制冷設(shè)備>冷水機(jī)/冷卻循環(huán)水機(jī)>LTS-202 集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

LTS-202 集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

參考價(jià) 156290
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
  • 品牌 冠亞制冷
  • 型號(hào) LTS-202
  • 產(chǎn)地 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)機(jī)光電工業(yè)園鴻運(yùn)路203號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/1/16 14:42:43
  • 訪問(wèn)次數(shù) 803

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無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司致力于制冷設(shè)備,、超低溫冷凍機(jī),、制冷加熱控溫系統(tǒng)、加熱循環(huán)系統(tǒng),、防爆電氣設(shè)備,、自動(dòng)化集成分散控制系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)儀器裝置,、工業(yè)冷凍室的開(kāi)發(fā),、生產(chǎn)和貿(mào)易的科技實(shí)體。擁有數(shù)位在超低溫,、高低溫開(kāi)發(fā)方面具有豐富經(jīng)驗(yàn)的高素質(zhì)專業(yè)設(shè)計(jì)人員的研發(fā)隊(duì)伍,。


我們的使命:

聚焦解決客戶寬溫制冷,、加熱控溫難題和降低制冷、加熱系統(tǒng)能耗,;

提供有競(jìng)爭(zhēng)力的系統(tǒng)解決方案和服務(wù),,持續(xù)為客戶創(chuàng)造較大化價(jià)值;




制冷加熱循環(huán)器,、加熱制冷控溫系統(tǒng),、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng)、加熱循環(huán)器,、低溫冷凍機(jī),、低溫制冷循環(huán)器、冷卻水循環(huán)器,、工業(yè)冷處理低溫箱,、低溫冷凍機(jī)、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 10萬(wàn)-50萬(wàn)
冷卻方式 水冷式 儀器種類 一體式
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥,汽車



無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備,、射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備,

?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體,、LED,、LCD、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域,。




【 冠亞制冷 】半導(dǎo)體行業(yè)主營(yíng)控溫產(chǎn)品:

半導(dǎo)體專溫控設(shè)備

射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風(fēng)控溫裝置

半導(dǎo)體?低溫測(cè)試設(shè)備

電?設(shè)備?溫低溫恒溫測(cè)試?yán)錈嵩?/span>

射流式高低溫沖擊測(cè)試機(jī)

快速溫變控溫卡盤(pán)

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案


型號(hào)FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
溫度范圍5℃~40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油,、氟化液、乙二醇水溶液,、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴(kuò)展通過(guò)增加電加熱器,,擴(kuò)展-25℃~80℃





集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置


  淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller是一種用于冷卻半導(dǎo)體的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工序各種應(yīng)用場(chǎng)景,。以下是淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller的一些常見(jiàn)應(yīng)用場(chǎng)景:

  1,、半導(dǎo)體制造

  在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,需要使用大量的半導(dǎo)體設(shè)備,,如晶圓制造設(shè)備,、封裝測(cè)試設(shè)備等。這些設(shè)備在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,,如果熱量控制不當(dāng),,就會(huì)影響設(shè)備的性能和穩(wěn)定性。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設(shè)備,,保證設(shè)備的正常運(yùn)行和生產(chǎn)效率,。

  2、元器件電子設(shè)備

  電力電子設(shè)備如整流器,、逆變器,、電源等在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,,如果熱量控制不當(dāng),就會(huì)導(dǎo)致設(shè)備故障或性能下降,。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設(shè)備,,保證設(shè)備的正常運(yùn)行和穩(wěn)定性。

  3,、通信設(shè)備

  通信設(shè)備如基站,、交換機(jī)、路由器等在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,,如果熱量控制不當(dāng),,就會(huì)影響設(shè)備的通信質(zhì)量和穩(wěn)定性。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設(shè)備,,保證設(shè)備的正常運(yùn)行和穩(wěn)定性,。

總之,淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller在各種應(yīng)用場(chǎng)景中都發(fā)揮著一定作用,,可以保證設(shè)備的正常運(yùn)行和穩(wěn)定性,,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。




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