瑞士IDONUS 濕法刻蝕晶圓夾具

關(guān)于瑞士IDONUS 濕法刻蝕晶圓夾具

瑞士idonus是一家專注于微型工程行業(yè)專業(yè)設(shè)備設(shè)計(jì)和制造的微技術(shù)公司。核心競(jìng)爭(zhēng)力有：MEMS設(shè)備（MicroElectroMechanical Systems）,、離子注入 機(jī)器視覺和光學(xué)解決方案,、光伏設(shè)備、工程服務(wù)和原型或小批量生產(chǎn)

產(chǎn)品描述

VPE由反應(yīng)室和蓋子組成,。加熱元件集成在蓋子中,。它控制要蝕刻的基板的溫度。晶圓夾持可以通過兩種方式實(shí)現(xiàn)：晶圓可以通過使用夾緊環(huán)進(jìn)行機(jī)械夾緊,。擰緊是從設(shè)備的背面完成的,，該背面從不與 HF 蒸汽接觸。3 個(gè)螺母易于戴防護(hù)手套處理,。另一種選擇是靜電夾緊,。單個(gè)芯片（長度超過 10 毫米）和晶圓可以夾在加熱元件上。晶圓的背面受到保護(hù),，不會(huì)被蝕刻,。

液態(tài)HF被填充到反應(yīng)室中。反應(yīng)室用蓋子封閉,。HF蒸氣在室溫下產(chǎn)生,，蝕刻過程自發(fā)開始。蝕刻速率由晶圓溫度控制,，晶圓溫度可在 35°C 至 60°C 之間調(diào)節(jié),。 處理后,，酸可以儲(chǔ)存在儲(chǔ)液罐中，以便在可密封的容器中重復(fù)使用,。
液體輸送只需用手柄降低連通儲(chǔ)液罐即可完成,。由于重力作用，酸流入儲(chǔ)層,，可以通過兩個(gè)閥門關(guān)閉,。通過打開閥門并抬起手柄來重新填充反應(yīng)室。酸流入反應(yīng)室,。酸可以重新用于多次蝕刻,，直到必須更換。
VPE系統(tǒng)占地面積小,，可以很容易地集成到現(xiàn)有的流箱中,。