Keithley 6514 6517B 6430高電阻低電流靜電測試儀介紹：

  Keithley 6517B靜電計/高阻表是全球科研實驗室靈敏測量的標準,。吉時利在弱電測量方面擁有60多年的專業(yè)經(jīng)驗,，吉時利靜電計能夠可靠地測量較低10aA (10×10-18A) 電流、較低1fC 電荷,，并支持最高1018Ω的電阻測量。6517B還能夠測量高達200V的最大電壓范圍,，輸入阻抗超過200TΩ,。所有這些性能都融合在一臺儀器中，操作起來像數(shù)字萬用表一樣簡便,。

主要特點：

測量高達1018Ω的電阻

10aA (10×10-18A) 電流測量分辨率

6517B,、8009電阻率測試夾具和KickStart高電阻率應(yīng)用相結(jié)合，為ASTM D257高電阻率測量提供完整的硬件和軟件解決方案

<3fA輸入偏置電流

6位半高準確度測量模式

較低電流范圍上<20μV壓降

高達200V電壓測量,，>200Ω輸入阻抗

內(nèi)置±1000V電壓源

高阻測量交換電極電壓源和測量方法

內(nèi)置測試序列,，支持四種不同器件表征測試、表面和體電阻率,、表面絕緣電阻和電壓掃描

選配插入式掃描卡,，可使用一個測試設(shè)置測試最多10個器件或材料樣本

GPIB和RS-232接口

杰出的性能指標

6517B把吉時利數(shù)十年的弱電測量技術(shù)知識融匯到創(chuàng)新的低電流輸入放大器中，輸入偏置電流<3fA,，噪聲僅0.75fA p-p,，較低電流范圍上壓降<20μV。對近似理想的電路負荷,，電壓電路輸入阻抗超過200TΩ,。這些指標保證了所需的準確度和靈敏度，可以在物理,、光學(xué),、納米科技和材料科學(xué)等領(lǐng)域準確地進行低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量,。內(nèi)置 ±1 kV電壓源擁有掃描功能,，簡化了絕緣材料上的漏流、擊穿和電阻測試及體電阻率 (W-cm) 和表面電阻率(W/square) 測量工作,。

寬測量范圍

6517B在電流,、電阻、電壓和電荷測量量程的整個頻寬上提供了自動量程功能,。6517B融合了以下測量功能：

超靈敏電流表,，可測量10aA~20mA電流

阻抗最高的電壓表，可測量1mV~200V電壓

超高范圍電阻表,，可測量1Ω~1018Ω電阻

靈敏的電量計,，可測量1fC~2μC電荷

交換電極電壓源方法消除了材料中背景電流的影響，可以進行可重復(fù)的、準確的高阻和電阻率測量,。

改進高電阻率測量

許多測試應(yīng)用要求材料有高電阻率 ( 表面或體積 ),。傳統(tǒng)測量方法對樣本應(yīng)用足夠大的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流,，然后使用歐姆定律 (R=V/I) 算出電阻,。盡管高阻材料和器件產(chǎn)生的電流很小，很難準確測量,，但吉時利靜電計和皮安計可以成功地完成這些測量,。

即使使用的是優(yōu)質(zhì)儀器，材料中固有的背景電流仍可能使其很難準確地執(zhí)行測量,。由于壓電效應(yīng),、靜電對電容元件充電 及偏振效應(yīng)，絕緣材料,、聚合物和塑料一般都有背景電流,。背景電流通常大于等于應(yīng)用的電壓產(chǎn)生的電流。在這些情況 下,，結(jié)果通常會不穩(wěn)定,，提供的電阻讀數(shù)或電阻率讀數(shù)不準，甚至?xí)a(chǎn)生錯誤的負值,。吉時利6517B就是為解決這些問 題而設(shè)計的,，可以一致地、可重復(fù)地,、準確地測量各種材料和元件,，特別是在與8009電阻率測試夾具結(jié)合使用時。

交換電較高電阻率測量方法

6517B采用交換電極方法,，幾乎消除了樣本中任何背景電流的影響,，另外也抵消了背景電流的一級和二級漂移。交換電極方法應(yīng)用正極性電壓,，然后在延遲 ( 測量時間 ) 后測量電流,。然后顛倒極性，使用相同的延遲再次測量電流,。 這一過程一直重復(fù),，最后根據(jù)四個新電流測量的加權(quán)平均值計算出電阻。 在大多數(shù)材料上,，通過7次反轉(zhuǎn) ( 即舍棄前三個讀數(shù) ),，這種方法一般可以得出高度可重復(fù)的、準確 的電阻 ( 或電阻率 ) 測量數(shù)據(jù),。例如,，在8009電阻率測試夾具中,，可以以 0.3%的可重復(fù)率測量1mm厚的1014Ω-cm材料樣本，在15秒周期內(nèi)得到<200fA的背景電流變化,。

與內(nèi)置源增強高阻測量準確度

濕度和溫度會明顯影響材料的電阻率值,。為幫助您準確比較 在變化條件下采集的讀數(shù)，6517B提供了一個內(nèi)置K型熱電耦,，并可以選配6517-RH相對濕度探頭,。內(nèi)置50,000個讀數(shù)的數(shù)據(jù)存儲緩沖器可以記錄和調(diào)用測量數(shù)據(jù)，包括測量時間,、溫度和相對濕度戳記,。

完整的高電阻率測量解決方案

可以使用以下套件，采用標準ASTM D-257“絕緣材料的DC電阻或電導(dǎo)”規(guī)定的方法執(zhí)行高電阻率測量：

KICKSTARTFL-HRMA2高電阻率應(yīng)用,，適用KickStart儀器軟件控制環(huán)境

6517B靜電計

8009電阻率測試夾具

KickStart高電阻率應(yīng)用控制著執(zhí)行所需測量的靜電計和測試夾具，進行ASTM-D-257標準電阻率測量,。它可以以高達1000V電壓測試材料,，確定高達1018Ω-cm的電阻率，分析電流隨時間變化的階躍響應(yīng)圖,，確定測量要等多長時間被測材料才會穩(wěn)定,，分析多個讀數(shù)圖，確保獲得穩(wěn)定一致的測量,。KickStart高阻應(yīng)用采用交換電極技術(shù),，消除固有的背景電流，實現(xiàn)準確的電阻率測量,。還可以使用這個應(yīng)用,，使用選配的熱電偶和相對濕度探頭，觀測電阻率與溫度和相對濕度的關(guān)聯(lián)度,。

ASTM-D257標準高電阻率測試系統(tǒng)及6517B靜電計,、8009電阻率測試夾具和KickStart高電阻率應(yīng)用。

KickStart高電阻率階躍響應(yīng)圖

KickStart高電阻率電阻率圖,。

內(nèi)部測試序列擴展并簡化應(yīng)用

6517B擁有大量的內(nèi)部測試序列,，協(xié)助簡便地設(shè)置和執(zhí)行各種測試。器件表征序列包括二極管漏流測量,、電容器漏流測量,、電纜絕緣電阻測量和電阻器電壓系數(shù)測量。電阻率和電阻測試包括體電阻率,、表面電阻率和表面絕緣電阻測試,。可以使用方波和樓梯測試序列,，表征參數(shù)與電壓的關(guān)系,。

除內(nèi)置測試外,，6517B還擅長在物理學(xué)、光學(xué)和材料科學(xué)等科研領(lǐng)域進行低電流,、高阻抗電壓,、電阻和電荷測量。靜電計的超低壓降,，使其特別適合太陽能表征應(yīng)用,，其內(nèi)置電壓源和低電流靈敏度則使其特別適合納米材料高阻測量，如基于聚合物的納米線,、其他納米材料,、陶瓷、介電膜和生物材料,。

由于快速響應(yīng)測量和類DMM的操作方式,，6517B特別適合涉及漏流、擊穿和電阻測試的品控工程設(shè)計和生產(chǎn)測試應(yīng)用,。6517B的電壓反轉(zhuǎn)方法專門加強了非導(dǎo)電材料上的體積和表面電阻率測量,。6517B還特別適合電化學(xué)應(yīng)用，如高阻抗,、離子選擇電極和pH測量,、電導(dǎo)池和電勢分析。

6514 6517B 6430高電阻低電流靜電測試儀典型應(yīng)用：

納米材料表征

聚合物電氣表征

波束測量

劑量測定

器件漏流測量

絕緣電阻測量

光電檢測器表征

體積和表面電阻率

多種附件擴展測量功能

可以使用多種選配附件擴展6517B型靜電計/高阻表的應(yīng)用,，并改進其性能,。8009電阻率測試夾具是一款受保護的測試夾具，用于樣本材料的體電阻率和表面電阻率測量,。它包括按ASTM標準構(gòu)建的不銹鋼電極,。該夾具的電極尺寸已在6517B 型靜電計/高阻表預(yù)編程，因此無需計算其數(shù)值再手動輸入,。這個附件旨在保護用戶避免接觸潛在的危險電壓,， 一旦開啟夾具蓋，其將自動關(guān)閉6517B靜電計/高阻表的電壓源輸出,。

8009電阻率測試夾具滿足美國測試材料協(xié)會 (ASTM) D257 標準規(guī)定的絕緣材料DC電阻或電導(dǎo)標準測試方法,。8009與 6517B相結(jié)合，為進行安全的電阻率測量提供了完整的系統(tǒng),。8009帶有6517B-ILC-3安全互鎖電纜,、7078-TRX-3三同軸到三同軸電纜及8607 1kV源電壓香蕉插口成套電纜。

6521低電流掃描卡是一種10通道復(fù)用器,，旨在在多點測試應(yīng)用或必須改變測試配置時切換低電流,。每條通道上的偏置電流<1pa，每條通道之間保持高隔離度>1015Ω),。即使在反選通道時,，6521仍保持電流路徑,，是真正的電流開關(guān)。 BNC輸入連接器幫助為靈敏測量提供屏蔽,，掃描卡兼容低噪聲同軸電纜,。6521特別適合在半導(dǎo)體連接上自動進行反向漏流測試，或在FET上進行柵極漏流測試,。

6522電壓/低電流掃描卡可以提供最多10通道低電流、高阻抗電壓,、高阻或電荷切換,。盡管它在許多方面與6521類似，但6522的輸入連接器是3接線柱三同軸連接器,。掃描卡可以通過軟件配置,，切換高達200V的高阻抗電壓。三同軸連接器則可以支持超過接地500V浮動電壓及高達200V驅(qū)動保護,。