應(yīng)用示例*PVD裝

*CVD裝置

*濺鍍裝置

*離子注入機(jī)

*真空爐,、熱處理爐

磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置在軸旋轉(zhuǎn)的情況下,可以對(duì)于真空進(jìn)行密封，也可以對(duì)氣體進(jìn)行隔離,。磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置是利用磁性流體的特性,，由磁鐵將磁性流體固定于旋轉(zhuǎn)軸周?chē)?形成液體的“O形密封圈”。特性和優(yōu)點(diǎn)*一般真空用磁性流體

*低飽和蒸氣壓磁液

*耐高熱性強(qiáng)磁性流體

*耐腐蝕性氣體磁液

應(yīng)用示例*PVD裝

*CVD裝置

*濺鍍裝置

*離子注入機(jī)

*真空爐,、熱處理爐

磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置在軸旋轉(zhuǎn)的情況下,可以對(duì)于真空進(jìn)行密封,，也可以對(duì)氣體進(jìn)行隔離。磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置是利用磁性流體的特性,，由磁鐵將磁性流體固定于旋轉(zhuǎn)軸周?chē)?形成液體的“O形密封圈”,。特性和優(yōu)點(diǎn)*一般真空用磁性流體

*低飽和蒸氣壓磁液

*耐高熱性強(qiáng)磁性流體

*耐腐蝕性氣體磁液

應(yīng)用示例*PVD裝

*CVD裝置

*濺鍍裝置

*離子注入機(jī)

*真空爐、熱處理爐

磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置在軸旋轉(zhuǎn)的情況下,可以對(duì)于真空進(jìn)行密封,，也可以對(duì)氣體進(jìn)行隔離,。磁性流體旋轉(zhuǎn)密封裝置是利用磁性流體的特性，由磁鐵將磁性流體固定于旋轉(zhuǎn)軸周?chē)?形成液體的“O形密封圈”,。特性和優(yōu)點(diǎn)*一般真空用磁性流體

*低飽和蒸氣壓磁液

*耐高熱性強(qiáng)磁性流體

*耐腐蝕性氣體磁液