ILS 中行程鋁步進(jìn)電機(jī)線性平移臺產(chǎn)品規(guī)格

型號
	ILS50BPP	ILS100BPP	ILS150BPP	ILS200BPP	ILS250BPP
行程范圍	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s
最小位移增量	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm
中心負(fù)載能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
軸向負(fù)載 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆軸向負(fù)載能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度,，典型值	±0.6 µm	±0.8 µm	±1.5 µm	±1.2 µm	±1.7 µm
精度，保證值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.75 µm	±5.0 µm
單向重復(fù)精度,，典型值	±0.20 µm	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
單向重復(fù)精度,，保證值	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
雙向重復(fù)精度，典型值	±0.40 µm	±0.45 µm	±0.45 µm	±0.55 µm	±0.60 µm
雙向重復(fù)精度,，保證值	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
俯仰,，典型值	±15 µrad	±20 µrad	±37 µrad	±75 µrad	±42 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺,，典型值	±12 µrad	±17 µrad	±20 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏擺,，保證值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏擺順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原點重復(fù)精度	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	0.5 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

注釋:

1. 公制 M- 版本可供選擇。

ILS 中行程鋁步進(jìn)電機(jī)線性平移臺特征

經(jīng)濟(jì)型微米步進(jìn)電機(jī)

對于要求不高的應(yīng)用,，步進(jìn)電機(jī)可能是比直流電機(jī)更經(jīng)濟(jì)的解決方案,。 步進(jìn)電機(jī)使用磁吸和排斥的基本原理進(jìn)行操作，將數(shù)字脈沖轉(zhuǎn)換為機(jī)械軸的旋轉(zhuǎn),。 為了提高運動的分辨率和平滑度,，這些階段均具有微米步距功能，這是一種將運動的完整步長以電子方式劃分為大量局部步長的方法,。

微步進(jìn)電機(jī)基本工作原理

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 優(yōu)化的鋁制機(jī)身

有限元法（FEM）用于優(yōu)化ILS系列舞臺鋁制車體的結(jié)構(gòu)設(shè)計,，從而在不降低重量的情況下實現(xiàn)很高的剛度并大程度地減少了雙金屬彎曲,。 剛體設(shè)計減少了載荷下的撓曲,，從而在鋁制載物臺設(shè)計中實現(xiàn)了最高的性能。 還提供了FEM優(yōu)化的IMS平臺,，可提供更長的行程范圍,，更高的負(fù)載能力和更大的移動平臺。

改善工作性能的旋轉(zhuǎn)編碼器

步進(jìn)電機(jī)通常是開環(huán)運行,，其位置取決于命令的步數(shù)和微米步徑,。 在要求的扭矩和速度范圍內(nèi)使用時，此功能可靠地工作,。 但是,，步進(jìn)電機(jī)的運動超出其要求范圍將變得不可預(yù)測。 為避免螺絲/電機(jī)耦合錯誤,，這些級的位置測量值應(yīng)以4000 cts / rev的速度讀取,。 旋轉(zhuǎn)編碼器直接位于螺釘上。

循環(huán)滾珠軸承滑塊

借助精確的線性軌跡,，循環(huán)滾珠軸承滑軌可提供優(yōu)異的有效載荷和更長的使用壽命,。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題,，該問題通常出現(xiàn)在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。

無側(cè)隙滾珠絲杠

ILS 平移臺包含有預(yù)裝的無側(cè)隙滾珠絲杠,，可實現(xiàn)具有較短步進(jìn)時間和穩(wěn)定時間的平滑且快速的運動,。螺桿型材的設(shè)計在于減少熱效應(yīng)，從而延長平移臺的使用壽命,。

其他ILS位移臺特性

牢固的頂蓋可防止傳動系統(tǒng)的損壞,，并且可使其免受灰塵和碎屑的影響。ILS 系列平移臺還配有實現(xiàn)可重復(fù)初始化的位于行程中心的原點,、防止超程的限位開關(guān)以及用于平穩(wěn)緊急制動的彈性行程終點阻尼器,。

多軸裝配

Newport的標(biāo)準(zhǔn)電動平移臺和部件可以很容易地組合，以創(chuàng)建數(shù)百種可能的多軸系統(tǒng),。根據(jù)產(chǎn)品和應(yīng)用的不同,，我們的標(biāo)準(zhǔn)組件提供以下精密對準(zhǔn):

●Orthogonality to 50 µrad

●Axes Coincidence to 20 µm

XY裝配

IMS300線性平移臺（X軸）和ILS150線性平移臺（Y軸）直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸上實現(xiàn)高精度,。

X-Θz 裝配

ILS150線性位移臺（X軸）和URS100旋轉(zhuǎn)位移臺（θz角）直接安裝在一個直線運動的軸和一個旋轉(zhuǎn)運動的軸上,，以實現(xiàn)高精度和高精度。

XYZ 裝配

IMS線性平移臺（X軸）,，一個ILS線性平移臺(Y軸）直接安裝到IMS,，ILS線性平移臺安裝在一個EQ120直角托架上 (Z-軸)，在三個線性運動軸上提供高精度,。

X-Θy 裝配

ILS線性位移臺和 RV旋轉(zhuǎn)位移臺安裝在 EQ120 直角支架,，用于在一個直線運動的軸和一個旋轉(zhuǎn)運動的軸上提供高精度和高精度。

XZ-Θz 裝配

ILS250線性位移臺（X軸）,， GTS30V垂直位移臺（Z軸）和 URS100旋轉(zhuǎn)臺（Θz角）直接安裝 在兩個線性運動軸和一個旋轉(zhuǎn)運動軸上,，具有較高的精度和精度。

XY-Θz 裝配

IMS300線性平移臺（X軸）,，一個ILS150線性平移臺（Y軸）和一個URS100轉(zhuǎn)臺 (Θz 角)直接安裝在一起,，以便在兩個線性運動軸和一個旋轉(zhuǎn)運動軸上實現(xiàn)高精度。

免費提供計量報告

Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測量和記錄的規(guī)格值,。典型性能值比可保證值高出兩倍,。

ILS平移臺負(fù)載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these stepper motor driven stages are shown below:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.