一,、系統(tǒng)設備概述

多腔等離子體刻蝕系統(tǒng)是一款優(yōu)良的刻蝕設備，廣泛應用于半導體制造和微電子領域,。該系統(tǒng)通過在多個腔室中產(chǎn)生等離子體,，利用反應氣體對材料進行選擇性刻蝕，能夠實現(xiàn)高精度和高均勻性的刻蝕效果,。多腔設計使得設備能夠同時處理多個晶圓,，提高生產(chǎn)效率和吞吐量。該設備適用于多種材料,，包括硅,、氮化物和金屬等，廣泛用于集成電路,、MEMS 以及光電器件的制造,。憑借其良好的刻蝕性能和靈活的工藝調節(jié)能力，多腔等離子體刻蝕系統(tǒng)在現(xiàn)代微納米加工中發(fā)揮著重要作用。

二,、設備用途與原理

1.設備用途

多腔等離子體刻蝕系統(tǒng)主要用于半導體制造,、微電子和納米技術領域。它廣泛應用于集成電路（IC）,、微機電系統(tǒng)（MEMS）,、光電器件及其他高精度微納加工，能夠實現(xiàn)對硅,、氮化物,、金屬等多種材料的選擇性刻蝕。

2.工作原理

該系統(tǒng)通過在多個腔室中產(chǎn)生等離子體,，利用反應氣體與材料表面反應,，選擇性去除材料。首先,，反應氣體被引入刻蝕腔室,，經(jīng)過電場激勵后形成等離子體。等離子體中的活性粒子與待刻蝕材料表面發(fā)生化學反應,，產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物,，從而實現(xiàn)材料的去除。多腔設計使得系統(tǒng)能夠同時處理多個晶圓,，顯著提高生產(chǎn)效率和均勻性,。此外，系統(tǒng)的工藝參數(shù)可調節(jié),，允許用戶優(yōu)化刻蝕速率和選擇性,，以滿足不同應用的需求。

三,、設備組成

1.方案是適用于大 8 吋晶圓的多腔等離子體刻蝕工藝系統(tǒng)

2.系統(tǒng)可用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)

3.系統(tǒng)兼容 8 吋,、6 吋、4 吋,、3 吋晶圓和不規(guī)則碎片,；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔的開腔破真空

4.系統(tǒng)包括：

一個六端口的轉接腔,、帶機械手

六個端口分別連接：                                                    

（1）一個ICP-RIE 刻蝕腔模塊：用于刻蝕鈮酸鋰,；              

（2）一個ICP-RIE 刻蝕腔模塊：配氟基氣體，主要用于刻蝕介質,、光刻膠去膠等,；

（3）一個 RIE 刻蝕腔模塊：配氯基氣體，主要用于刻蝕金屬等,；                              

（4）一個 loadlock 預真空室模塊：用于單片樣品的手動送樣,；

（5）一個真空片盒站模塊：用于多片片盒的自動送樣,；           

（6）一個端口備用，未來可升增加 1 個刻蝕或沉積反應腔模塊,。