RTP-Table-6 桌面式半導(dǎo)體快速退火爐
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 東莞市晟鼎精密儀器有限公司
- 品牌 晟鼎
- 型號 RTP-Table-6
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/2/4 13:47:25
- 訪問次數(shù) 1027
產(chǎn)品標(biāo)簽
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桌面式半導(dǎo)體快速退火爐,RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設(shè)備,,標(biāo)配三組工藝氣體,,可最大兼容6英寸晶圓Wafer。
桌面式半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢
?紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷,;
?采用快速PID溫控,,可精準控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性,;
?采用平行氣路進氣方式,,氣體進出口設(shè)置在晶圓表面,避免退火過程中冷點產(chǎn)生,,保證良好的溫度均勻性,;
?大氣與真空處理方式均可選擇,實現(xiàn)進氣前氣體凈化處理,。
晟鼎與華南理工大學(xué)聯(lián)合創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實驗室,,所有產(chǎn)品系列皆通過CE認證。