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RTP-Table-6 桌面式半導(dǎo)體快速退火爐

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司致力于為用戶提供專業(yè)的表面處理與檢測整體解決方案,集研發(fā),、設(shè)計,、生產(chǎn),、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的企業(yè),。

是接觸角國家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T 30693-2014)參與制定者,,擁有行業(yè)內(nèi)等離子實(shí)驗(yàn)室,,與華南理工大學(xué)創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,,并擁有10多位行業(yè)技術(shù)專家,。團(tuán)隊(duì)成員以多年從事材料表面,、電子電氣,、工業(yè)自動化等領(lǐng)域研發(fā)的博士,、碩士,、學(xué)士為主,本科學(xué)歷以上占比50%,,涵蓋業(yè)內(nèi)華南理工等各大高校人才,,打造業(yè)界的研發(fā)團(tuán)隊(duì)。

Apple,、華為,、小米、OPPO,、京東方,、富士康、比亞迪,、藍(lán)思,、伯恩、兆馳,、三安光電,、清華大學(xué)、北京大學(xué),、復(fù)旦大學(xué)等企業(yè)及科研院校長期合作伙伴,。

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接觸角測量儀,等離子清洗機(jī),,半導(dǎo)體快速退火爐,、USC干式超聲波,靜電消除器

桌面式半導(dǎo)體快速退火爐,,RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設(shè)備,,標(biāo)配三組工藝氣體,可最大兼容6英寸晶圓Wafer,。

桌面式半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢

?紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷;

?采用快速PID溫控,,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,,保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性;

?采用平行氣路進(jìn)氣方式,氣體進(jìn)出口設(shè)置在晶圓表面,,避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,,保證良好的溫度均勻性;

?大氣與真空處理方式均可選擇,,實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣前氣體凈化處理,。

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晟鼎與華南理工大學(xué)聯(lián)合創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,所有產(chǎn)品系列皆通過CE認(rèn)證,。

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