MKS AX7690LAM-23 RPS MKS Revolution RPS AX7690 遠程等離子源

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公司名稱 江蘇神州半導體科技有限公司
品牌 MKS/美國
型號 MKS AX7690LAM-23 RPS
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2023/11/22 17:24:40
訪問次數(shù) 1522

產(chǎn)品標簽

RPS遠程等離子源腔體清潔 MKS RPS 刻蝕 Revolution AX7690LAM

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公司介紹 主營產(chǎn)品

神州科技是中國地區(qū)半導體產(chǎn)線電源系統(tǒng)服務廠商,位于江蘇省揚州市維揚開發(fā)區(qū),現(xiàn)有員工300人,工程師230人,模擬測試線20條,，已建成完整全面的高精度,高功率：直流,、射頻、微波,、網(wǎng)絡匹配器,、遠程等離子發(fā)生器等綜合測試平臺，是國家火炬計劃項目《等離子電源研發(fā),，應用平臺建設》承接單位,。公司業(yè)務遍及亞洲，于日本,、新加坡,、韓國分設辦事處。

神州科技為芯片產(chǎn)線,，光伏產(chǎn)線,，液晶面板制造產(chǎn)線，工業(yè)玻璃鍍膜產(chǎn)線,，LED新光源產(chǎn)線,，以及醫(yī)療、科研真空,，各類高科技產(chǎn)業(yè)等離子系統(tǒng)提供電源系統(tǒng)的維修,，備件支持，設備租憑服務,。神州團隊嚴謹創(chuàng)新,，高效熱誠,，服務世界半導體產(chǎn)業(yè)。

展開

電源維修,，二手電源設備銷售,，直流電源，射頻電源,，脈沖電源,，自動網(wǎng)絡匹配器，遠程等離子發(fā)生器,，分子泵離子泵,，干泵冷泵

詳細信息 在線詢價

品牌	MKS	型號	AX7690LAM-23
P/N	685-045803R023	狀態(tài)	Refurbished

MKS Revolution RPS AX7690 遠程等離子源提供半導體晶圓加工所需的高性能和清潔的反應氣體源。創(chuàng)新的 R*evolution 是專門為“onwafer”應用設計的遠程等離子體源新系列中的產(chǎn)品,，它結合了 MKS 經(jīng)現(xiàn)場驗證的低場環(huán)形等離子體技術和強大的等離子體施加器設計，可產(chǎn)生超潔凈的原子中性粒子或部首,。

原子自由基在許多工藝中都是十分重要的,，例如光刻膠去除、晶圓預清洗以及薄膜氮化和氧化,。自由基通常是通過產(chǎn)生等離子體而產(chǎn)生的,。然而，相關的帶電粒子有時是不受歡迎的,。為了避免這些不利影響,，在外部產(chǎn)生等離子體并將自由基有效地輸送到處理室。

MKS Revolution RPS AX7690 遠程等離子源 反應氣體發(fā)生器將石英真空室,、射頻電源和所有必要的控制裝置集成到一個緊湊,、獨立的單元中，以便輕松直接安裝在工具的處理室上,。其結果是獲得極其清潔的原子自由基源,，從而在晶圓上產(chǎn)生所需的反應，同時大大降低了復雜性,。R*evolution 遠程等離子體源可提供高達 6 kW 的等離子體功率,，為工藝提供高自由基流量（高達 5 slm），從而使剝離或蝕刻速率比傳統(tǒng)微波系統(tǒng)快兩倍,。由于其效率高且成本較低,，R*evolution 遠程等離子體源可顯著降低總體投資和工具運營成本。此外,，其較小的尺寸和簡單的設計有利于用戶輕松安裝,、操作和維護。