波長色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評估，同時對各種薄膜的薄膜厚度和成分進行無損,、非接觸式分析,。

這是一種波長色散X熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時分析尺寸達~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成,。XYθZ驅(qū)動樣品臺（方法）可以精確分析各種金屬膜,，避免衍射射線的影響。4kW大功率X射線管可實現(xiàn)超輕元素的高精度分析,，例如BPSG薄膜的痕量元素測量和硼分析,。還支持C-to-C運輸機器人（可選）。它配備了自動校準(zhǔn)（全自動每日檢查和強度校正功能）,。

◆支持微量元素的濃度和成分分析

適用于從輕元素到重元素的各種元素：4是~92U

◆高靈敏度硼檢測儀AD-硼

我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng),，例如提高硼分析能力，以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,。此外,，降溫機構(gòu)和真空度穩(wěn)定機構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

◆X-Y-θ驅(qū)動級

X-Y-θ驅(qū)動樣品臺和測量方向設(shè)置程序可以在整個晶圓上精確測量薄膜厚度和成分分布,。鐵電薄膜也不受衍射光束的影響,。

◆應(yīng)用：

?半導(dǎo)體器件BPSG，SiO2四3N4

?摻雜多晶硅（B,，P,，N，AS）,，Wsix

?Al-Cu,，TiW,，TiN、TaN,，PZT,，BST，SBT

?MRAM

?金屬膜W,，Mo,，Ti，Co,，Ni,，Al，Cu,，Ir,，Pt，Ru

?磁盤CoCrTa,，CoCrPt,，DLC

?NiP

?磁光盤Tb-FeCo

?磁頭GMR，TMR

◆廣泛的固定測角儀產(chǎn)品陣容

我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測角儀,。我們還在準(zhǔn)備一個專用的光學(xué)系統(tǒng),，可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。

◆全自動日常管理功能自動校準(zhǔn)

為了獲得準(zhǔn)確的分析值,，必須對儀器進行正確校準(zhǔn),。為此，必須定期測量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓,，以保持設(shè)備的健康狀況,。這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是自動化的，減少了操作員的工作量,。這就是AutoCal功能,。

◆與C-to-C自動輸送兼容

除了開放式暗盒外，還支持SMIF POD,。兼容200mm以下的晶圓,。此外，還可以與主機進行SECS通信,，并支持各種CIM/FA格式,。

◆緊湊節(jié)能設(shè)計

主機占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計。無油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計,。

• 同時評估薄膜厚度和成分

• 適用于所有薄膜類型

• 支持小于200mm的晶圓和介質(zhì)盤

• 高分析性能、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性

• 獲得的XYθZ驅(qū)動樣品臺,，可獲得準(zhǔn)確的XRF結(jié)果

• 高靈敏度硼分析（帶AD硼通道）

• 使用可選的C到C自動加載器進行自動校準(zhǔn)

• 無油變壓器X射線發(fā)生器

• 功耗比以前的型號低23%

產(chǎn)品規(guī)格：