Agilent 4155B是新一代精密半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀,。它擁有的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀,，

可靠的測試儀,，強(qiáng)有力的故障，分析工具,，自動檢查設(shè)施,；幸免綜合至同參儀器中。

新產(chǎn)品的設(shè)計(jì)目標(biāo)清楚地瞄準(zhǔn)為亞微米幾何尺寸器件評估提供前所未見的精度和功能,。

它是一種可靈活使用的儀器,，無疑對從材料評價至器件性牟的表征，乃至后封裝等各

個階段的部分檢查和現(xiàn)場故障分析可提供諸多應(yīng)用,，以改進(jìn)半導(dǎo)體器件的質(zhì)量,。

正確方案的抉擇

Agilent 4155B設(shè)有四個內(nèi)置源/監(jiān)測單元（SMU），兩個電壓單元（VSU）

,，兩個電壓監(jiān)測單元（VMU）,，對于具有非開氏連接的基本半導(dǎo)體連接,，

4155B可謂是選擇,，分辨為10fA/1μV測量范圍為100mA/100V。

任何時候,，均可增添41501B SMU和脈沖發(fā)生器擴(kuò)展器,。它由0V/1.6A接地單元饋送

可擴(kuò)展接收兩100mA/100V SMU或一個1A/200V SMU和兩上同步40V/1μs脈沖發(fā)生器。

設(shè)定和測量

Agilent 4155B可使用許多測量單元,，包括Agilent 41501B做階梯,，脈沖掃描測量，

采樣（時域）測量,，而無需變動連接,。進(jìn)而，對于可靠性評估還可做應(yīng)力循環(huán)測量,，

例如熱載流子的注入和快速EEPROM測評,。

可通過前面板鍵，鍵盤,，或GPIB（SCPI命令）多種途徑通過設(shè)置頁面和添入空格進(jìn)行

設(shè)定和測量,，還可通過鈕掃描功能進(jìn)行短暫測量和查尋設(shè)定一類似于曲線描圖儀。

顯示和分析測量和分析結(jié)果顯示在彩色的LCD上,，可由4個圖形存貯器做存貯器做存貯,，

以便分析。比較,。強(qiáng)有力的分析手段,，使得很容易對諸如hFE,Vth等多種參數(shù)進(jìn)行抽取。

一旦查得參數(shù)抽取條件,，則可通過-自動分析功能自動地取得,。輸出和存貯

設(shè)定,、測量，分析數(shù)據(jù)均可由GPIB,，燕行或網(wǎng)絡(luò)接口10Base-T LAN輸出至彩色繪圖儀和打印機(jī),，

也可通過網(wǎng)絡(luò)或3.5寸盤存貯在MS-DOS或LIF格式文件中。Graphic (Agilent-GL,PCL功TIF）

輸出文件還允許將圖形轉(zhuǎn)換為桌面出版軟件,。重復(fù)和自動測試

Agilent 4155B的 Agilent儀器BASIC控制器,，可在無控制器的外部儀器構(gòu)成自動測量系統(tǒng)。

4155B可通過多用觸發(fā)I/O功能與外部儀器相同步,。