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RTP-3-01 晶化快速退火爐 嘉儀通 半導體退火設備

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP-3-01
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2023/6/24 16:55:06
  • 訪問次數(shù) 199

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武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年,,是以薄膜物性測量儀器作為戰(zhàn)略定位,技術自主創(chuàng)新的國家新技術企業(yè),。公司集快速退火爐,,霍爾效應測試,RTP,,RTA,,RTO,熱電參數(shù)測試,Seebeck系數(shù)測試,,電導率測試,,熱導率測試,相變溫度分析,,液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導體工藝設備的研發(fā),、市場和技術服務于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業(yè),。

  武漢嘉儀通科技有限公司始終堅持自主研發(fā)與應用創(chuàng)新,,擁有自己的技術工程師研發(fā)團隊,建有省級工程實驗室,、新型研發(fā)機構以及市級企業(yè)技術中心平臺,,擁有知識產權100多項,主持承擔參與了10余項國家科技攻關項目,。2020 年,,公司研發(fā)的“薄膜材料熱特性測試技術及儀器”技術與產品榮獲了“湖北省技術發(fā)明一等獎”。核心序列產品廣泛應用于大專院校,、科研院所,、第三方檢測機構和工業(yè)企業(yè)等細分領域,并服務于國內近500家客戶,。除此之外,,核心產品還遠銷美國、英國,、日本,、澳大利亞、以色列,、香港,、澳門、中國臺灣等20多個國家和地區(qū),,實實在在為新材料的科研和生產創(chuàng)造了價值,。未來,公司依托省級科研共享平臺的大數(shù)據(jù)分析,,為世界各國用戶的薄膜技術研究及戰(zhàn)略方向提供理論依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐,。 

  武漢嘉儀通科技有限公司秉承技術創(chuàng)新、應用為上的行動準則,,遵循“專注,、創(chuàng)新、成長,、勤勉”的核心價值理念,,認真做好每一款產品,,為客戶提供合適的產品與優(yōu)質的服務。最終實現(xiàn)公司愿景:和員工一起成長為薄膜(熱)測量領域的先鋒者,!

 

快速退火爐,半導體退火設備,,液氮低溫恒溫器,快速退火爐RTP

晶化快速退火爐  嘉儀通 半導體退火設備采用紅外輻射加熱技術,,可實現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫,,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達到好的溫場均勻性,,對薄膜材料進行晶化快速退火處理,,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。

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晶化快速退火爐 嘉儀通 半導體退火設備產品特點:

快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s,,特定條件下可以達到100 ℃/s,。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s,。

 精確控溫: 采用工業(yè)級溫控器進行PID精確控溫,目標溫度與設定溫度曲線一致性高,,可實現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制,。

 適應多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等),。同時,,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,,真空度可達10-3Pa,。

 配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化,。同時,,可以結合相關測試方法進行原位測試分析。

 超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報警系統(tǒng)和冷卻水流量報警系統(tǒng),,多方位保障儀器使用安全,。

 國產退火爐:擁有自主研發(fā)技術和制造能力,能快速反應客戶售后需求,。

 

晶化快速退火爐技術參數(shù):

 

型號

RTP-3-01系列

溫度

1200℃

升溫速率

50℃/s

溫度均勻性

≦1%設定溫度

溫度控制

選用工業(yè)級溫控器,,控溫精度±0.1℃

溫度傳感器

標準K型熱電偶

降溫速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,,20℃/min

(自然冷卻)

樣品尺寸

W20 x L20 x T2   (mm)

主機尺寸

W420X L320X   H220 (mm)

主機重量

20.5kg

 

晶化快速退火爐  嘉儀通 半導體退火設備客戶案例:

 

清華大學使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火,,得到晶相一致晶粒較小的晶體,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性,。

 


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