EXTREL_APIMS-痕量大氣壓離子質(zhì)譜儀
- 公司名稱 潽洛因思分析儀器（蘇州）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/2/13 16:15:06
- 訪問(wèn)次數(shù) 1413
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- 【石化檢測(cè)】工業(yè)氣體解決方案09月13日
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,綜合 |
EXTREL_APIMS-痕量大氣壓離子質(zhì)譜儀
•實(shí)時(shí),、多組分監(jiān)控所有大宗電子氣中的關(guān)鍵雜質(zhì)包括痕量
O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, NH3, Xe等
•久經(jīng)考驗(yàn)、性能強(qiáng)大的質(zhì)譜技術(shù)
•通過(guò)配置的雙離子源,，覆蓋從PPT到100的分析量程范圍,。
•通過(guò)集成可視化的用戶界面實(shí)現(xiàn)自動(dòng)標(biāo)定功能，操作非常簡(jiǎn)單,。
•專業(yè)的客戶服務(wù)和應(yīng)用支持團(tuán)隊(duì)
EXTREL_APIMS-痕量大氣壓離子質(zhì)譜儀產(chǎn)品描述
•可靠的超純氣體生產(chǎn)和供應(yīng)
•一臺(tái)分析儀分析所有雜質(zhì)
•全自動(dòng),，實(shí)時(shí)雜質(zhì)報(bào)警功能
•可靠的24/7工藝保護(hù)
•晶圓產(chǎn)能
VeraSpec APIMS不僅分析速度快、靈敏度高,，而且操作簡(jiǎn)單,，可用于連續(xù)監(jiān)控氮?dú)狻鍤?、氦氣,、氧氣和氫氣的供?yīng)需求。通過(guò)對(duì)ppt級(jí)別雜質(zhì)的快速響應(yīng)大程度保護(hù)電子制造工藝,。
擁有Extrel VeraSpec APIMS,，保護(hù)您的半導(dǎo)體生產(chǎn)
超純氣對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)非常重要。通過(guò)對(duì)超純氣純度的連續(xù)監(jiān)測(cè)可以確保半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)能,。其被雜質(zhì)污染后的代價(jià)是非常昂貴的,。
半導(dǎo)體工廠需要連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工藝氣的純度，雜質(zhì)的檢測(cè)限至低ppt級(jí)別,。
要達(dá)到如此低的檢測(cè)下限,，方式就是應(yīng)用大氣壓離子質(zhì)譜儀。在20多年里,，APIMS已經(jīng)被應(yīng)用在科學(xué)研究和檢測(cè)工業(yè)在線微量氣體的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)。
基于四極桿技術(shù)的Extrel VeraSpec APIMS系統(tǒng)能檢測(cè)的氣體含量和氣體組分范圍非常寬泛,。同時(shí)儀器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,、重復(fù)性是大多數(shù)應(yīng)用所必須要求的。
為了追求優(yōu)的性能,、穩(wěn)定性和運(yùn)行時(shí)間,，在半導(dǎo)體氣體分析領(lǐng)域，Extrel 是運(yùn)用19mmTri-filter四極濾質(zhì)器的質(zhì)譜儀生產(chǎn)商,。
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