典型工藝流程：

1 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

2 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)

3 預(yù)處理-一級反滲透-二級反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM) (新工藝)

4 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)

5 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

6 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精密過濾器-用水對象 (≥5MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

水質(zhì)標準：

達到美國SEMI標準和國家電子級純水標準

設(shè)備特點：

為滿足用戶需要,，達到符合標準的水質(zhì),，盡可能地減少各級的污染，延長設(shè)備的使用壽命,、降低操作人員的維護工作量,。在工藝設(shè)計上，取達到國家自來水標準的水為源水,，再設(shè)有介質(zhì)過濾器,，活性碳過濾器，鈉離子軟化器,、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng),、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)(EDI電除鹽系統(tǒng))等,。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng),、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表,、電氣采用PLC可編程控制器,，真正做到了無人職守,，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設(shè)備可靠性,。

半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備濱潤半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備濱潤