GL6 R&D 納米壓印系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品標簽

納米壓印系統(tǒng)納米壓印設(shè)備

在線交流發(fā)送詢價進入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù),。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項,，是創(chuàng)新型中小企業(yè),、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。

展開

冷熱臺,，快速退火爐，光刻機,，納米壓印,、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

一,、產(chǎn)品介紹：

1. 兼容基底尺寸：直徑≤100mm

2. 支持基底材料：硅片,、玻璃、石英,、塑料,、金屬等

3. 納米壓印技術(shù)：旋涂膠基底高精度壓印&點膠自動找平壓印、旋涂膠基底壓印,、點膠自動找平壓印模式

4. 壓印精度：優(yōu)于10nm

5. 結(jié)構(gòu)深寬比：優(yōu)于10：1

6. 殘余層控制：可小于10nm 微米級TTV控制精度

7. 紫外固化光源：紫外LED（365nm）面光源,，光強>300mW/cm2

8. 自動壓印/自動脫模/自動工作模具復(fù)制/主動找平壓印/模自動點膠：支持

9. 模具基底對位系統(tǒng)：手動對位（選配）

10. 上下片方式：手動上下片

二、技術(shù)優(yōu)勢：

隨機提供全套納米壓印工藝與材料,，包括DOE,、AR斜齒光柵、高密度,、高深寬比結(jié)構(gòu),、微透鏡陣列、勻光片結(jié)構(gòu)等工藝流程,，幫助客戶零門檻達到國際納米壓印水平,。